衍射光學元器件 DOE

時間：2021-10-11 類別：光學器件/晶體關注：2746

衍射光學元件（DOE）是相位元件，它使用嵌入在元件中的薄微結構將輸入激光束控制為各種輸出輪廓和形狀。衍射光學器件可實現許多功能和光操作，而這在標準折射光學器件中是不可行的。

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平頂光束整形器

光束整形器可將(準)高斯分布的入射激光轉變成任意波前形狀的激光輸出(圓形，方形，正方形和線性)，光束光強分布均勻，具有陡峭的邊緣。均勻分布的光斑在光處理過程中具有很大的優勢，可以有效排除特殊區域的過量曝光或曝光不足。另外，陡峭的光束邊緣使光處理區域和非處理區域的界限更加明顯。

光束整形器可以分為：光束聚焦整形器，角光束整形器(平頂分布)和M整形器。

光束聚焦鏡對入射光斑進行相位調制，在焦平面附近幾微米內獲得平頂光斑

角光束整形器可在無窮遠或無相差,透鏡焦距位置形成平頂光分布;M整形器可產生M型強度截面，在特定工作面產生陡峭的邊緣

標準聚焦整形元件

型號	波長[nm]	入射光斑直徑 [mm]	工作距離 [mm]	聚焦光斑大小	元件直徑 [mm]	像形狀
TH-042-U-Y-A	355	2.5	50	50um	25.4	圓形
TH-245-U-Y-A	355	12	50	45x10um	25.4	長方形
ST-202-U-Y-A	355	14	50	50x6um	25.4	長方形
ST-203-I-Y-A	1064	6	52	50x50um	25.4	方形
ST-204-Q-Y-A	532	6	52	30x30um	25.4	方形
TH-241-W-Y-A	266	8	200	1mm	25.4	線形
TH-235-U-Y-A	355	12	700	10mm	27.94	線形
ST-209-Q-Y-A	532	2	104.76	150x200um	12.7	長方形
ST-211-A-Y-A	10600	11	38	125x200um	27.94	長方形
ST-215-U-Y-A	355	14	47.8	6x34um	25.4	長方形
ST-216-U-Y-A	355	14	47.8	6x38um	25.4	長方形
ST-217-U-Y-A	355	14	47.8	6x42um	25.4	長方形
TH-234-A-Y-A	10600	14	95	250um	27.94	圓形
TH-233-A-Y-A	10600	12	63.5	0.25x2.5mm	27.94	長方形
TH-223-A-Y-A	10600	2.4	565	27.8x27.8mm	15	方形
TH-222-Q-Y-A	532	2.9	40	200um	12.7	線形
TH-219-A-Y-A	10600	12	63.5	0.25x1.5mm	27.94	長方形
TH-217-U-Y-A	355	2	100	100x100um	12.7	方形
TH-009-A-Y-A	10600	10	63.5	280x280 um	27.94	方形
TH-011-A-Y-A	10600	25	250	3 mm	38.1	圓形
TH-216-Q-Y-A	532	12	720	10x10mm	25.4	方形
TH-014-I-Y-A	1064	7	42.52	190 um	20	圓形
TH-017-I-Y-A	1064	39	20000	635x5.3 mm	50	長方形
TH-018-I-Y-A	1064	13	20000	635x635 mm	38.1	方形
TH-019-I-Y-A	1064	3.5	100	210x210 um	25.4	方形
TH-209-U-Y-A	355	9x6	200	100 um	25.4	圓形
TH-208-A-Y-A	10600	13	150	5 mm	27.94	線形
TH-207-U-Y-A	355	3.5	99.35	200x200 um	25.4	方形
TH-034-Q-Y-A	532	2.5	99.5	100x100 um	25.4	方形
TH-035-Q-Y-A	532	2.5	99.5	90 um	25.4	圓形
TH-036-Q-Y-A	532	3.5	100	200x200 um	25.4	方形
ST-201-A-Y-A	10600	16.5	187.5	360um	38.1	圓形
TH-043-U-Y-A	355	8	49.8	15 um	20	圓形
TH-205-A-Y-A	10600	4	100	1.5mm	25.4	圓形
TH-045-U-Y-A	355	1.65	94	170x170 um	12.7	方形
TH-046-U-Y-A	355	2.5	95	61x61um	12.7	方形
TH-051-W-Y-A	266	5	42	15 um	25.4	圓形
TH-101-I-Y-A	1064	3	100	150 um	25.4	圓形
TH-102-I-Y-A	1064	6	100	150 um	25.4	圓形
TH-103-I-Y-A	1064	9	1000	10x10 mm	25.4	方形
TH-202-A-Y-A	10600	14.5	79.5	370um	20	圓形
TH-203-D-Y-A	2940	4	80	200 um	11	圓形
TH-204-Q-Y-A	532	3.5	105	200x200um	25.4	方形
ST-200-C-Y-A	9250	12	63.5	260x260um	27.94	方形
TH-032-Q-Y-A	532	10.9	200	2mm	25.4	圓形
TH-031-Q-Y-A	532	5	52.4	100 um	25.4	圓形
TH-005-C-Y-A	9250	12	62.9	350 um	27.94	圓形
TH-226-A-Y-A	10600	4	100	3x3mm	20	方形
TH-231-I-Y-A	1064	5	100	0.2x0.6mm	12.7	長方形
TH-004-A-Y-A	10600	12	63.4	390 um	27.94	圓形
TH-003-A-Y-A	10600	3.7	41	650um	12.7	線形
TH-244-U-Y-A	355	12	50	35x13um	25.4	長方形
TH-033-X-Y-A	800	6	200	3 mm	25.4	圓形
TH-012-H-Y-A	1319	7	43.2	170 um	20	圓形
TH-008-C-Y-A	9250	10	62.9	260x260 um	27.94	方形
TH-232-X-Y-A	1070	12	150	300x300um	38.1	方形
TH-007-C-Y-A	9250	25	121	14.2X1.7 mm	38.1	長方形
TH-006-A-Y-A	10600	25	125	15X1 mm	38.1	長方形
ST-208-X-Y-A	1070	14	75	500x500um	30	方形
ST-205-I-Y-A	1064	7	100	210x210um	25.4	方形
TH-044-1-Y-A	337	8	49.4	20 um	20	圓形
TH-224-X-Y-A	1070	14	75.76	1x1mm	38.1	方形

角光束整形器

型號	波長 [nm]	入射光直徑[mm]	聚焦發散角 [mrad]	像尺寸[um]*	元件大小 [mm]	像形狀
TH-238-I-Y-A	1064	3	6	600	11	圓形
ST-206-I-Y-A	1064	10	2.7	270	25.4	線形
ST-219-I-Y-A	1064	4	0.52	52	11	圓形
ST-225-I-Y-A	1064	4.5	0.47	47	25.4	方形
ST-234-I-Y-A	1064	7	0.3	30	25.4	方形
ST-237-I-Y-A	1064	9	0.23	23	25.4	圓形
ST-241-I-Y-A	1064	10	0.2	20	25.4	圓形
PT-001-I-N-A	1064	6	0.56	56	30	方形
TH-258-I-Y-A	1064	10	0.48	48	25.4	方形
ST-212-I-Y-A	1064	7	1	100	20	方形
ST-277-I-Y-A	1064	7	0.3	30	25.4	線形
TH-227-I-Y-A	1064	3	13.3	1330	11	圓形
ST-283-I-Y-A	1064	12	0.36x1.8	36.0x180	25.4	長方形
TH-215-I-Y-A	1064	6	1	100	25.4	圓形
ST-286-I-Y-A	1064	12	0.35x2.7	35.0x270	25.4	長方形
TH-015-I-Y-A	1064	5.1	14.5	1450	25.4	線形
TH-013-I-Y-A	1064	7	17.5	1750	25.4	方形
ST-303-I-Y-A	1064	7.5	0.28	28	25.4	圓形
ST-221-I-Y-A	1064	4.7	0.44	44	25.4	圓形
ST-238-I-Y-A	1064	10	0.2	20	25.4	方形
ST-239-I-Y-A	1064	6	0.35	35	25.4	圓形
ST-240-I-Y-A	1064	8	0.26	26	25.4	圓形
ST-222-I-Y-A	1064	5	0.41	41	25.4	圓形
PT-002-I-Y-A	1064	7.5	45.18x2.64	4518.8x264	40x40	長方形
ST-259-I-Y-A	1064	2	1.04	104	11	圓形
ST-260-I-Y-A	1064	3	0.69	69	11	圓形
PT-001-I-Y-A	1064	6	0.56	56	30	方形
ST-289-I-Y-A	1064	3.5	0.6	60	11	圓形
TH-249-I-Y-A	1064	3.2	0.74	74	12.5	線形
TH-246-I-Y-A	1064	6	4.2	420	25.4	圓形
TH-239-I-Y-A	1064	4.7	0.51	51	12.5	線形
ST-227-I-Y-A	1064	4	2	200	11	框形
ST-267-I-Y-A	1064	2	1.04	104	11	線形
ST-268-I-Y-A	1064	3	0.69	69	11	線形
ST-269-I-Y-A	1064	4	0.52	52	11	線形
ST-270-I-Y-A	1064	5	0.43	43	11	線形
ST-271-I-Y-A	1064	2	1.3	130	11	圓形
ST-272-I-Y-A	1064	3	0.87	87	11	圓形
ST-273-I-Y-A	1064	5	0.52	52	25.4	圓形
ST-275-I-Y-A	1064	8	0.26	26	25.4	線形
ST-276-I-Y-A	1064	10	0.21	21	25.4	線形
ST-228-I-Y-A	1064	4	24	2400.1	11	框形
ST-278-I-Y-A	1064	9	0.23	23	25.4	線形
ST-229-I-Y-A	1064	4	12	1200	11	方形
TH-221-I-Y-A	1064	2.2	3.2	320	11	方形
ST-281-I-Y-A	1064	6	0.34	34	25.4	線形
ST-282-I-Y-A	1064	6	0.34	34	25.4	方形
ST-230-I-Y-A	1064	7	0.29	29	20	圓形
TH-220-I-Y-A	1064	1.125	6.2	620	11	方形
ST-231-I-Y-A	1064	3	8.7	870	11	線形
ST-232-I-Y-A	1064	3	17.67	1767	11	線形
ST-220-I-Y-A	1064	4	0.53	53	11	方形
ST-235-I-Y-A	1064	8	0.26	26	25.4	方形
ST-315-I-Y-A	1064	1.5	1.39	139	11	方形
ST-290-I-Y-A	1064	3.5	0.6	60	11	方形
ST-291-I-Y-A	1064	2	1.02	102	11	方形
ST-292-I-Y-A	1064	2.5	0.81	81	11	方形
ST-293-I-Y-A	1064	3	0.68	68	11	方形
ST-294-I-Y-A	1064	2.5	0.83	83	11	線形
ST-295-I-Y-A	1064	3.5	0.59	59	11	線形
ST-296-I-Y-A	1064	4.5	0.46	46	11	線形
ST-297-I-Y-A	1064	2.5	0.84	84	11	圓形
ST-298-I-Y-A	1064	4.5	0.47	47	11	圓形
ST-299-I-Y-A	1064	5.7	0.4	40	11	圓形
ST-300-I-Y-A	1064	5.7	0.49	49	11	圓形
ST-301-I-Y-A	1064	5.7	0.37	37	12.5	圓形
ST-302-I-Y-A	1064	5.7	0.48	48	12.5	圓形
ST-236-I-Y-A	1064	9	0.23	23	25.4	方形
ST-307-I-Y-A	1064	1	2.08	208	11	圓形
ST-308-I-Y-A	1064	1	2.08	208	11	方形
ST-312-I-Y-A	1064	1	2.08	208	11	線形
ST-313-I-Y-A	1064	1.5	1.39	139	11	線形
ST-314-I-Y-A	1064	1.5	1.39	139	11	圓形
ST-263-I-Y-A	1064	12	0.36x2.39	36x239	25.4	長方形
ST-207-I-Y-A	1064	10	0.6	60	25.4	圓形
ST-288-I-Y-A	1064	12	0.36x3.30	36x330	25.4	長方形
ST-287-I-Y-A	1064	12	0.35x2.99	35.5x299	25.4	長方形
ST-285-I-Y-A	1064	12	0.36x2.40	36.0x240.0	25.4	長方形
ST-284-I-Y-A	1064	12	0.36x2.10	36.0x210.0	25.4	長方形
ST-280-I-Y-A	1064	12	0.36x3.30	36.5x330.0	25.4	長方形
TH-225-I-Y-A	1064	1.2	23.7	2370.1	11	Dollar
ST-279-I-Y-A	1064	12	0.36x3.00	36.0x300.0	25.4	長方形
TH-228-I-Y-A	1064	3	10	1000	11	圓形
TH-236-I-Y-A	1064	6	7.2	720	25.4	10x10 網格
TH-237-I-Y-A	1064	6	7.2	720	25.4	11 線形
ST-266-I-Y-A	1064	12	0.37x2.40	36.9x239.5	25.4	長方形
ST-265-I-Y-A	1064	12	0.37x2.09	37.2x209.1	25.4	長方形
ST-264-I-Y-A	1064	12	0.36x2.69	36.5x269.0	25.4	長方形
TH-248-I-Y-A	1064	5	5.60x0.94	560.0x94.0	25.4	長方形
TH-002-I-Y-A	1064	12	2.4	240	27.94	方形
TH-252-I-Y-A	1064	6	20	2000.1	25.4	圓形
TH-253-I-Y-A	1064	12	0.65x2.97	65.0x297.0	25.4	長方形
TH-254-I-Y-A	1064	12	0.81x2.36	81.0x236.0	25.4	長方形
TH-255-I-Y-A	1064	12	1.10x1.77	110.0x177.0	25.4	長方形
TH-256-I-Y-A	1064	12	0.40x4.79	40.0x479.0	25.4	長方形
TH-257-I-Y-A	1064	12	0.36x5.39	36.0x539.0	25.4	長方形
ST-262-I-Y-A	1064	12	0.36x2.10	36.0x210.0	25.4	長方形
TH-259-I-Y-A	1064	6	3.19	319	25.4	方形
TH-260-I-Y-A	1064	6	1.71	171	25.4	方形
TH-105-I-Y-A	1064	7.5	0.54	54	25.4	圓形
ST-261-I-Y-A	1064	12	0.36x1.78	35.8x178.0	25.4	長方形
ST-258-I-Y-A	1064	10	3.9	390	25.4	線形
ST-223-I-Y-A	1064	6	3	300	25.4	線形
PT-003-I-Y-A	1064	3.2	22.77	2277.1	12.7x12.7	線形
PT-005-I-Y-A	1064	5	3.29	329	25.4	圓形
PT-006-I-Y-A	1064	2	40.30x57.10	4030.5x5711.6	12.7	橢圓形

*焦距100mm

應用于掃描系統的微型光束整形器(~1.5X 衍射極限)

具有平頂能量分布的激光束被廣泛地應用于各種材料處理領域，主要包括掃描儀和場鏡系統中基片上的準直聚焦。我們最近推出了具有1.5倍衍射極限的光束整形器，價格較常規產品便宜。該光束整形器主要應用于高功率激光下的掃描聚焦系統，將衍射光束整形器置于掃描鏡之前，可在場鏡工作平面得到平頂分布的光斑，并且不會改變系統的聚焦距離。

勻束器

勻束器能靈活地將任何準直激光精確地轉變成任意形狀的均勻光束，非常適用于需要不同形狀且具有隨機強度剖面的應用領域。勻束器的輸出依賴于輸入光斑的特性，相對于單模光束，多模光束具有較低的相干性，這使得輸出的斑點更少，從而形成更加均勻的光強輸出。

勻束器

型號	波長[nm]	聚焦發散角[deg]	像尺寸[mm]*	元件大小 [mm]	像形狀
HM-260-I-Y-A	1064	2	3.49	25.4	線形
DF-200-I-Y-A	1064	0.50x0.50	0.87x0.87	11	方形
HH-209-I-Y-A	1064	20.00x20.00	35.27x35.27	10x10	方形
HH-214-I-Y-A	1064	2.00x2.00	3.49x3.49	11	方形
HM-200-I-Y-A	1064	0.50x0.50	0.87x0.87	11	方形
HM-201-I-Y-A	1064	0.50x0.50	0.87x0.87	25.4	方形
HM-203-I-Y-A	1064	2.00x2.00	3.49x3.49	25.4	方形
HM-208-I-Y-A	1064	2.75x2.75	4.80x4.80	25.4	方形
HM-210-I-Y-A	1064	2.00x2.00	3.49x3.49	11	方形
HM-211-I-Y-A	1064	2.00x2.00	3.49x3.49	25.4	方形
HM-212-I-Y-A	1064	0.50x0.50	0.87x0.87	25.4	方形
HM-213-I-Y-A	1064	1.00x1.00	1.75x1.75	22	方形
HD-200-I-Y-A	1064	2.15	3.75	18	六邊形
HM-271-I-Y-A	1064	2.00x2.00	3.49x3.49	25.4	方形
HM-273-I-Y-A	1064	10.00x10.00	17.50x17.50	10x10	方形
HM-274-I-Y-A	1064	20.00x20.00	35.27x35.27	10x10	方形
HM-283-I-Y-A	1064	0.50x0.50	0.87x0.87	11	方形
RH-215-I-Y-A	1064	4	6.98	25.4	圓形
RD-204-I-Y-A	1064	2	3.49	25.4	圓形
RD-206-I-Y-A	1064	2	3.49	11	圓形
RD-211-I-Y-A	1064	0.5	0.87	11	圓形
RD-215-I-Y-A	1064	4	6.98	25.4	圓形
RD-216-I-Y-A	1064	1.6	2.79	25.4	圓形
RD-228-I-Y-A	1064	0.5	0.87	11	圓形
HM-263-I-Y-A	1064	0.5	0.87	11	線形
HM-264-I-Y-A	1064	0.60x0.60	1.05x1.05	25.4	方形
HM-267-I-Y-A	1064	8	13.99	48	線形
ED-204-I-Y-A	1064	1.71x0.84	2.98x1.47	25.4	橢圓形
HM-272-I-Y-A	1064	0.55x0.55	0.96x0.96	25.4	方形
ED-205-I-Y-A	1064	2.76x1.87	4.82x3.26	25.4	橢圓形
ED-206-I-Y-A	1064	3.80x2.92	6.63x5.10	25.4	橢圓形
HM-276-I-Y-A	1064	1.00x1.00	1.75x1.75	25.4	方形
HM-281-I-Y-A	1064	2	3.49	11	線形
RH-220-I-Y-A	1064	4	6.98	20	圓形
HM-284-I-Y-A	1064	2.00x2.00	3.49x3.49	11	方形
HM-285-I-Y-A	1064	0.36x0.66	0.63x1.15	25.4	矩形
RH-218-I-Y-A	1064	2	3.49	18	圓形
HM-288-I-Y-A	1064	0.54x0.54	0.94x0.94	38.1	方形
HM-289-I-Y-A	1064	1	1.75	11	線形
HM-290-I-Y-A	1064	4.00x4.00	6.98x6.98	11	方形
HM-291-I-Y-A	1064	4	6.98	11	線形
HM-303-I-Y-A	1064	3.60x14.40	6.29x25.27	15	矩形
RH-217-I-Y-A	1064	2	3.49	25.4	圓形
RH-224-I-Y-A	1064	4	6.98	15	圓形
RH-206-I-Y-A	1064	2	3.49	11	圓形
RD-254-I-Y-A	1064	1	1.75	20	圓形
RD-253-I-Y-A	1064	5.27	9.2	15	圓形
ED-201-I-Y-A	1064	1.23x0.79	2.15x1.38	15	橢圓形
RD-252-I-Y-A	1064	3.44	6.01	15	圓形
RD-251-I-Y-A	1064	6.87	12	15	圓形
RD-247-I-Y-A	1064	0.5	0.87	25.4	圓形
HM-320-I-Y-A	1064	5.78x1.44	10.10x2.51	15	矩形
RD-246-I-Y-A	1064	3	5.24	15	圓形
HM-322-I-Y-A	1064	2.06x7.55	3.60x13.20	18	矩形
HM-323-I-Y-A	1064	0.3	0.52	25.4	方形
HM-327-I-Y-A	1064	3	5.24	11	線形
HM-328-I-Y-A	1064	5.00x5.00	8.73x8.73	11	方形
RD-237-I-Y-A	1064	4	6.98	11	圓形
RD-231-I-Y-A	1064	1	1.75	20	圓形
RD-203-I-Y-A	1064	0.5	0.87	25.4	圓形
HH-208-I-Y-A	1064	2.75x2.75	4.80x4.80	25.4	方形
ED-202-I-Y-A	1064	1.23x0.79	2.15x1.38	11	橢圓形
RD-208-I-Y-A	1064	16	28.11	11	圓形
HH-211-I-Y-A	1064	2.00x2.00	3.49x3.49	25.4	方形
RD-213-I-Y-A	1064	0.5	0.87	11	圓形
HM-217-I-Y-A	1064	2.06x7.55	3.60x13.20	18	矩形
ED-203-I-Y-A	1064	1.23x0.79	2.15x1.38	25.4	橢圓形
RD-220-I-Y-A	1064	0.33	0.58	11	圓形
RD-221-I-Y-A	1064	0.16	0.28	11	圓形
RD-222-I-Y-A	1064	0.16	0.28	15	圓形
RD-232-I-Y-A	1064	2	3.49	11	圓形
RD-227-I-Y-A	1064	1	1.75	25.4	圓形
HM-262-I-Y-A	1064	0.5	0.87	25.4	線形
HM-315-I-Y-A	1064	25	44.34	10x10	線形
RD-226-I-Y-A	1064	27.4	48.75	15x15	圓形
RH-221-I-Y-A	1064	27.4	48.75	15x15	圓形
HM-286-I-Y-A	1064	22.9	40.51	7.25x7.25	線形
HM-307-I-Y-A	1064	0.50x0.50	0.87x0.87	25.4	方形
HM-312-I-Y-A	1064	10	17.5	10x10	線形
HM-321-I-Y-A	1064	5	8.73	15x15	線形
HM-319-I-Y-A	1064	45	82.84	10x10	線形
HM-318-I-Y-A	1064	40	72.79	10x10	線形
HM-317-I-Y-A	1064	35	63.06	10x10	線形
RD-202-I-Y-A	1064	0.75	1.31	25.4	圓形
HM-314-I-Y-A	1064	20	35.27	10x10	線型
HM-313-I-Y-A	1064	15	26.33	10x10	線形
HM-316-I-Y-A	1064	30	53.59	10x10	線形
RD-256-I-Y-A	1064	0.5	0.87	14.1x14.1	圓形
RD-255-I-Y-A	1064	1	1.75	14.1x14.1	圓形
RD-245-I-Y-A	1064	0.19	0.33	12.7x12.7	圓形
RD-239-I-Y-A	1064	13.86	24.31	15x15	圓形
RD-238-I-Y-A	1064	11.9	20.84	15x15	圓形
ED-207-I-Y-A	1064	1.71x0.84	2.98x1.47	25.4x25.4	橢圓形
ML-001-I-Y-A	1064	81.59x81.59	172.60x172.60	20x20	多線形

*焦距100mm

點陣分束器

點陣分束器可將輸入光束轉換成1維或2維的光束序列，分束后的光斑具有與入射光束相同的特性(功率和傳播方向除外)。根據元件上圖樣的不同，點陣分束器可將入射光轉變成1維(1xN)或2維(MxN)點陣。根據不同的設計，點陣分光器可工作在特定的波長并產生特定輸出角度的光斑。另外，我們還提供二進制的傳播相位光柵(占空比為50%的特殊1維Damman光柵)。除了提供標準產品外，我們還可以根據光斑數量和分布，占空比、調制深度、周期、反射式或傳播式等為客戶進行定制。

點陣分束器

型號	點數	波長[nm]	發散角 [deg]	元件大小 [mm]
MS-268-I-Y-A	19	1064	0.15	25.4
TS-008-I-Y-S	3	1064	1.27	25.4
DS-212-I-Y-A	2	1064	0.25	38.1
DS-216-I-Y-A	2	1064	1.52	11
DS-217-I-Y-A	2	1064	0.27	25.4
DS-224-I-Y-A	2	1064	0.12	20
DS-238-I-Y-A	2	1064	1.42	25.4
MS-107-I-Y-X	7	1064	0.29	25.4
MS-214-I-Y-A	6	1064	0.57	25.4
MS-233-I-Y-X	7	1064	0.7	25.4
MS-245-I-Y-A	10	1064	0.57	25.4
MS-255-I-Y-X	101	1064	0.057	25.4
MS-257-I-Y-A	51	1064	0.057	25.4
DS-006-I-Y-A	2	1064	2.54	25.4
MS-269-I-Y-X	25	1064	0.11	25.4
MS-272-I-Y-N	7	1064	0.19	15
MS-385-I-Y-A	6	1064	0.76	25.4
MS-398-I-Y-X	5	1064	0.3	25.4
MS-399-I-Y-A	4	1064	0.14	25.4
MS-400-I-Y-A	8	1064	0.14	25.4
MS-401-I-Y-A	16	1064	0.14	25.4
MS-455-I-Y-A	19	1064	0.38	20
MS-475-I-Y-A	6	1064	0.4	25.4
TS-225-I-Y-A	3	1064	0.072	25.4
TS-008-I-Y-D	3	1064	1.27	25.4
MS-333-I-Y-A	10	1064	0.76	11
DS-198-I-Y-A	2	1064	7.63	25.4
DS-199-I-Y-A	2	1064	8.72	11
DS-207-I-Y-A	2	1064	0.15	15
DS-208-I-Y-A	2	1064	0.27	11
DS-209-I-Y-A	2	1064	0.15	11
DS-210-I-Y-A	2	1064	0.29	11
DS-001-I-Y-A	2	1064	0.14	27.94
DS-213-I-Y-A	2	1064	0.038	38.1
DS-215-I-Y-A	2	1064	3.39	11
DS-025-I-Y-A	2	1064	0.15	27.94
DS-026-I-Y-A	2	1064	0.099	27.94
DS-218-I-Y-A	2	1064	14.38	11
DS-222-I-Y-A	2	1064	2.18	11
DS-223-I-Y-A	2	1064	1.35	27.94
DS-029-I-Y-A	2	1064	0.099	15
TS-269-I-Y-A	3	1064	0.11	25.4
TS-268-I-Y-A	3	1064	0.23	27.94
TS-261-I-Y-A	3	1064	1	25.4
TS-259-I-Y-A	3	1064	0.71	25.4
TS-258-I-Y-A	3	1064	9.21	15
TS-256-I-Y-A	3	1064	0.016	27.94
DS-233-I-Y-A	2	1064	0.68	11
DS-234-I-Y-A	2	1064	5.42	11
DS-235-I-Y-A	2	1064	1.79	27.94
DS-237-I-Y-A	2	1064	18.41	15
DS-033-I-Y-A	2	1064	10.17	25.4
DS-239-I-Y-A	2	1064	2	25.4
DS-241-I-Y-A	2	1064	0.41	25.4
DS-242-I-Y-A	2	1064	0.11	25.4
DS-243-I-Y-A	2	1064	0.084	25.4
TS-255-I-Y-A	3	1064	0.016	25.4
TS-254-I-Y-A	3	1064	0.019	38.1
TS-253-I-Y-A	3	1064	0.038	27.94
TS-252-I-Y-A	3	1064	0.047	20
TS-251-I-Y-A	3	1064	0.059	20
DS-255-I-Y-A	2	1064	0.064	38.1
DS-256-I-Y-A	2	1064	0.45	27.94
DS-257-I-Y-A	2	1064	0.23	25.4
DS-258-I-Y-A	2	1064	0.046	25.4
DS-261-I-Y-A	2	1064	0.14	27.94
TS-250-I-Y-A	3	1064	0.072	20
TS-249-I-Y-A	3	1064	0.073	11
DS-034-I-Y-A	2	1064	0.038	38.1
DS-180-I-Y-A	2	1064	0.032	27.94
MS-226-I-Y-X	5	1064	0.5	25.4
DS-181-I-Y-A	2	1064	0.032	25.4
MS-243-I-Y-A	8	1064	1.48	25.4
MS-244-I-Y-A	10	1064	0.76	25.4
DS-182-I-Y-A	2	1064	0.076	27.94
DS-183-I-Y-A	2	1064	0.076	25.4
MS-257-I-Y-X	51	1064	0.057	25.4
DS-184-I-Y-A	2	1064	0.094	25.4
MS-263-I-Y-A	4	1064	1.5	11
MS-268-I-Y-X	19	1064	0.15	25.4
DS-185-I-Y-A	2	1064	0.14	20
DS-186-I-Y-A	2	1064	0.14	25.4
MS-271-I-Y-X	7	1064	0.7	11
MS-272-I-Y-X	7	1064	0.19	15
DS-187-I-Y-A	2	1064	0.18	27.94
MS-278-I-Y-X	7	1064	0.95	11
MS-279-I-Y-X	7	1064	0.88	11
MS-291-I-Y-X	9	1064	0.11	27.94
MS-298-I-Y-X	7	1064	0.19	15
MS-304-I-Y-A	8	1064	0.045	27.94
TS-248-I-Y-A	3	1064	0.13	38.1
MS-316-I-Y-X	11	1064	1.2	11
MS-320-I-Y-A	8	1064	0.045	25.4
MS-322-I-Y-A	4	1064	3.4	20x20
TS-247-I-Y-A	3	1064	0.15	11
TS-246-I-Y-A	3	1064	0.67	27.94
TS-245-I-Y-A	3	1064	0.67	25.4
MS-331-I-Y-A**	10	1064	0.76	19
MS-332-I-Y-A	4	1064	1	11
DS-002-I-Y-A	2	1064	0.27	27.94
MS-338-I-Y-A	6	1064	0.57	11
TS-244-I-Y-A	3	1064	0.76	11
MS-357-I-Y-A	6	1064	0.21	25.4
TS-243-I-Y-A	3	1064	1.09	11
DS-188-I-Y-A	2	1064	0.18	25.4
TS-238-I-Y-A	3	1064	1.69	11
DS-189-I-Y-A	2	1064	0.5	15
DS-190-I-Y-A	2	1064	0.92	27.94
DS-191-I-Y-A	2	1064	0.92	25.4
DS-192-I-Y-A	2	1064	0.96	27.94
TS-235-I-Y-A	3	1064	2.07	25.4
MS-438-I-Y-X	9	1064	0.11	11
MS-439-I-Y-X	19	1064	0.15	11
MS-454-I-Y-X	15	1064	0.44	20
MS-455-I-Y-X	19	1064	0.38	20
DS-193-I-Y-A	2	1064	0.96	25.4
MS-456-I-Y-X	35	1064	0.17	20
MS-457-I-Y-X	51	1064	0.17	20
MS-453-I-Y-X	9	1064	1.05	25.4
MS-463-I-Y-X	7	1064	0.29	15
TS-233-I-Y-A	3	1064	7.19	11
MS-474-I-Y-A	6	1064	1.2	25.4
DS-194-I-Y-A	2	1064	1.05	27.94
MS-499-I-Y-X	5	1064	1	25.4
MS-501-I-Y-A	6	1064	2.59	25.4
TS-232-I-Y-A	3	1064	0.34	11
TS-230-I-Y-A	3	1064	0.25	15
MS-506-I-Y-A	4	1064	0.5	25.4
MS-512-I-Y-X	33	1064	0.036	25.4
MS-513-I-Y-X	321	1064	0.036	25.4
MS-519-I-Y-X	7	1064	0.14	11
DS-195-I-Y-A	2	1064	1.05	25.4
MS-545-I-Y-A	6	1064	0.054	25.4
TS-224-I-Y-A	3	1064	0.46	20
TS-216-I-Y-A	3	1064	0.46	25.4
TS-213-I-Y-A	3	1064	2.54	11
TS-212-I-Y-A	3	1064	4.36	11
TS-211-I-Y-A	3	1064	3.81	25.4
MS-557-I-Y-X	7	1064	0.047	27.94
MS-560-I-Y-A	4	1064	0.1	38.1
TS-205-I-Y-A	3	1064	0.091	27.94
MS-575-I-Y-A	32	1064	0.26	25.4
MS-579-I-Y-A	6	1064	0.064	38.1
TS-204-I-Y-A	3	1064	2.44	25.4
MS-589-I-Y-X	11	1064	0.57	11
MS-590-I-Y-X	11	1064	0.23	11
MS-592-I-Y-X	11	1064	0.11	11
TS-003-I-Y-A	3	1064	0.068	27.94
TS-004-I-Y-A	3	1064	0.14	27.94
TS-008-I-Y-A	3	1064	1.27	25.4
DS-196-I-Y-A	2	1064	4.13	25.4
DS-197-I-Y-A	2	1064	5.08	11
TS-027-I-Y-A	3	1064	0.076	27.94
TS-028-I-Y-A	3	1064	0.05	27.94
TS-031-I-Y-A	3	1064	5.09	25.4
TS-200-I-Y-A	3	1064	0.53	27.94
TS-201-I-Y-A	3	1064	0.48	27.94
TS-203-I-Y-A	3	1064	0.14	25.4
TS-270-I-Y-A	3	1064	0.023	25.4
MS-364-I-Y-A	4	1064	0.053	38.1
DS-225-I-Y-A	2	1064	3.67	15x15
DS-226-I-Y-A	2	1064	3.39	15x15
DS-227-I-Y-A	2	1064	3.13	15x15
DS-228-I-Y-A	2	1064	2.9	15x15
DS-229-I-Y-A	2	1064	2.71	15x15
DS-230-I-Y-A	2	1064	2.44	15x15
MS-542-I-Y-X	131	1064	0.062	10x10
MS-505-I-Y-X	85	1064	0.25	20x20
MS-502-I-Y-A	6	1064	2.59	20x20
MS-021-I-Y-X	15	1064	0.044	25.4
MS-408-I-Y-A	12	1064	2.44	15x15
TS-236-I-Y-A	3	1064	1.83	15x15
TS-237-I-Y-A	3	1064	1.69	15x15
MS-396-I-Y-X	9	1064	0.03	25.4
TS-239-I-Y-A	3	1064	1.56	15x15
TS-240-I-Y-A	3	1064	1.45	15x15
TS-241-I-Y-A	3	1064	1.35	15x15
TS-242-I-Y-A	3	1064	1.22	15x15
MS-022-I-Y-X	15	1064	0.028	25.4
MS-355-I-Y-A	4	1064	1.33	20x20
MS-307-I-Y-A	4	1064	5.11	20x20
MS-323-I-Y-X	5	1064	0.046	25.4
MS-327-I-Y-X	11	1064	1.52	9.8x9.8
MS-327-I-Y-S	11	1064	1.52	9.8x9.8
MS-572-I-Y-X	5	1064	0.42	17x17
MS-473-I-Y-A	6	1064	2.43	12.7x12.7
DS-252-I-Y-A	2	1064	2.54	14x14
DS-251-I-Y-A	2	1064	2.71	14x14
DS-250-I-Y-A	2	1064	3.05	14x14
DS-249-I-Y-A	2	1064	3.21	14x14
MS-580-I-Y-X	15	1064	0.54	17x17
MS-548-I-Y-X	7	1064	0.14	14x20
TS-220-I-Y-A	3	1064	7.64	9.8x9.8
MS-549-I-Y-A	8	1064	0.5	14x20
MS-551-I-Y-A	10	1064	0.3	14x14
MS-555-I-Y-X	5	1064	0.54	17x17
MS-556-I-Y-X	11	1064	0.54	17x17
DS-248-I-Y-A	2	1064	3.59	14x14

2維點陣分束器

型號	點數	波長[nm]	發散角[deg]	元件大小 [mm]
MS-288-I-Y-A	3x7	1064	1.27x0.42	25.4
MS-377-I-Y-L	9x9	1064	0.50x0.50	20
MS-027-I-Y-L	9x9	1064	0.50x0.50	25.4
MS-027-I-Y-N	9x9	1064	0.50x0.50	25.4
MS-030-I-Y-A	2x2	1064	1.00x1.00	25.4
MS-049-I-Y-A	7x7	1064	0.70x0.70	25.4
MS-201-I-Y-A	7x7	1064	0.70x0.70	11
MS-202-I-Y-A	4x4	1064	1.39x1.39	25.4
MS-203-I-Y-A	2x2	1064	4.00x4.00	25.4
MS-204-I-Y-A	2x2	1064	0.25x0.25	25.4
MS-211-I-Y-A	7x7	1064	0.19x0.19	25.4
MS-215-I-Y-A	5x5	1064	1.00x1.00	11
MS-216-I-Y-A	4x4	1064	1.39x1.39	11
MS-231-I-Y-A	7	1064	0.23x0.13	25.4
MS-237-I-Y-A	7x7	1064	2.11x2.11	11
MS-254-I-Y-A	9x9	1064	0.21x0.21	25.4
MS-261-I-Y-A	3x3	1064	0.57x0.57	11
MS-267-I-Y-A	4x4	1064	0.94x0.94	25.4
MS-285-I-Y-A	3x3	1064	1.27x1.27	25.4
MS-286-I-Y-A	3x4	1064	1.27x0.85	25.4
MS-287-I-Y-A	3x5	1064	1.27x0.64	25.4
MS-027-I-Y-A	9x9	1064	0.50x0.50	25.4
MS-289-I-Y-A	5x5	1064	2.20x2.20	11
MS-290-I-Y-A	5x5	1064	2.61x2.61	11
MS-299-I-Y-A	7x7	1064	2.11x2.11	25.4
MS-305-I-Y-X	5x5	1064	0.64x0.64	25.4
MS-306-I-Y-A	5x6	1064	0.64x0.51	25.4
MS-341-I-Y-A	4x4	1064	0.85x0.85	50
MS-342-I-Y-A	7x7	1064	1.40x1.40	11
MS-377-I-Y-A	9x9	1064	0.50x0.50	20
MS-377-I-Y-A	9x9	1064	0.50x0.50	20
MS-025-I-Y-A	5x5	1064	1.00x1.00	25.4
MS-377-I-Y-N	9x9	1064	0.50x0.50	20
MS-476-I-Y-A	7x7	1064	2.11x2.11	15
MS-429-I-Y-A	5x5	1064	1.00x1.00	18
MS-429-I-Y-L	5x5	1064	1.00x1.00	18
MS-429-I-Y-N	5x5	1064	1.00x1.00	18
MS-430-I-Y-A	9x9	1064	0.50x0.50	18
MS-430-I-Y-L	9x9	1064	0.50x0.50	18
MS-430-I-Y-N	9x9	1064	0.50x0.50	18
MS-516-I-Y-S	10x10	1064	0.93x0.93	14.1x14.1
MS-500-I-Y-S	10x10	1064	0.93x0.93	20
MS-254-I-Y-X	9x9	1064	0.21x0.21	25.4
MS-201-I-Y-X	7x7	1064	0.70x0.70	11
MS-254-I-Y-N	9x9	1064	0.21x0.21	25.4
MS-259-I-Y-X	9x9	1064	0.12x0.12	15
MS-260-I-Y-A	4x4	1064	0.57x0.57	11
MS-261-I-Y-X	3x3	1064	0.57x0.57	11
MS-211-I-Y-X	7x7	1064	0.19x0.19	25.4
MS-027-I-Y-X	9x9	1064	0.50x0.50	25.4
MS-273-I-Y-X	7x7	1064	0.70x0.70	25.4
MS-274-I-Y-X	9x9	1064	0.50x0.50	25.4
MS-277-I-Y-X	19x19	1064	0.12x0.12	25.4
MS-280-I-Y-X**	3x3	1064	0.36x0.36	19
MS-281-I-Y-X**	9x9	1064	0.50x0.50	19
MS-284-I-Y-X	3x3	1064	0.36x0.36	11
MS-285-I-Y-X	3x3	1064	1.27x1.27	25.4
MS-212-I-Y-X	15x15	1064	0.50x0.50	25.4
MS-286-I-Y-X	3x4	1064	1.27x0.85	25.4
MS-215-I-Y-X	5x5	1064	1.00x1.00	11
MS-287-I-Y-X	3x5	1064	1.27x0.64	25.4
MS-201-I-Y-L	7x7	1064	0.70x0.70	11
MS-288-I-Y-X	3x7	1064	1.27x0.42	25.4
MS-201-I-Y-N	7x7	1064	0.70x0.70	11
MS-289-I-Y-X	5x5	1064	2.20x2.20	11
MS-217-I-Y-X	5x5	1064	1.94x1.94	11
MS-290-I-Y-X	5x5	1064	2.61x2.61	11
MS-218-I-Y-X	9x9	1064	0.50x0.50	11
MS-292-I-Y-X	9x9	1064	0.061x0.061***	27.94
MS-299-I-Y-X	7x7	1064	2.11x2.11	25.4
MS-220-I-Y-X	5x5	1064	1.39x1.39	11
MS-300-I-Y-A	8x8	1064	0.57x0.57	11
MS-303-I-Y-X	5x5	1064	2.20x2.20	10
MS-221-I-Y-X	7x7	1064	0.19x0.19	15
MS-306-I-Y-X	5x6	1064	0.64x0.51	25.4
MS-225-I-Y-X	9x9	1064	0.12x0.12	15
MS-319-I-Y-A	2x2	1064	13.58x13.58	25.4
MS-321-I-Y-X	5x5	1064	3.23x3.23	11
MS-583-I-Y-X	15x15	1064	0.50x0.50	25.4
MS-581-I-Y-X	3x3	1064	0.57x0.57	15
MS-576-I-Y-A	2x2	1064	0.50x0.50	25.4
MS-573-I-Y-X	29x29	1064	0.0075x0.0075	34
MS-337-I-Y-X	77	1064	5.73x5.73***	11
MS-339-I-Y-X	3	1064	0.35x0.47	25.4
MS-340-I-Y-X	21x21	1064	0.080x0.080	11
MS-229-I-Y-X	5x5	1064	0.30x0.30	15
MS-342-I-Y-X	7x7	1064	1.40x1.40	11
MS-231-I-Y-X	7	1064	0.23x0.13	25.4
MS-353-I-Y-A	16x16	1064	0.33x0.33	12.5
MS-354-I-Y-A	2x2	1064	0.50x0.50	11
MS-356-I-Y-X	12	1064	9.15x9.15***	25.4
MS-358-I-Y-X	9x9	1064	1.09x1.09	11
MS-359-I-Y-X	11x11	1064	0.10x0.10	11
MS-360-I-Y-X	99x99	1064	0.10x0.10	11
MS-571-I-Y-X	7x7	1064	0.074x0.074	25.4
MS-567-I-Y-A	2x2	1064	0.29x0.29	11
MS-367-I-Y-X	21x21	1064	0.090x0.090	11
MS-566-I-Y-A	2x2	1064	0.68x0.68	11
MS-376-I-Y-X	9x9	1064	0.21x0.21	20
MS-377-I-Y-X	9x9	1064	0.50x0.50	20
MS-049-I-Y-X	7x7	1064	0.70x0.70	25.4
MS-232-I-Y-X	9x9	1064	0.15x0.15	15
MS-235-I-Y-X	5x5	1064	2.68x2.68	11
MS-587-I-Y-X	7	1064	0.23x0.13	20
MS-382-I-Y-A	2x2	1064	7.63x7.63	25.4
MS-383-I-Y-X	76	1064	0.50x0.50	25.4
MS-384-I-Y-A	8x8	1064	0.57x0.57	25.4
MS-386-I-Y-X	5	1064	13.58x13.58	25.4
MS-387-I-Y-X	9x9	1064	0.50x0.50	15
MS-388-I-Y-X	76	1064	0.50x0.50	11
MS-393-I-Y-X	9x9	1064	0.70x0.70	11
MS-394-I-Y-X	9x9	1064	0.19x0.19	11
MS-395-I-Y-X	37	1064	0.19x0.33	15
MS-397-I-Y-A	16x16	1064	0.33x0.33	25.4
MS-402-I-Y-X	11x11	1064	0.32x0.32	11
MS-403-I-Y-X	11x11	1064	0.32x0.32	11
MS-565-I-Y-A	2x2	1064	1.52x1.52	11
MS-562-I-Y-A	2x2	1064	0.41x0.41	25.4
MS-409-I-Y-A	10x10	1064	0.93x0.93	18
MS-410-I-Y-A**	18x18	1064	0.49x0.49	19
MS-561-I-Y-A	2x2	1064	2.00x2.00	25.4
MS-550-I-Y-X	3x5	1064	2.67x2.01	25.4
MS-546-I-Y-A	2x2	1064	7.96x7.96	25.4
MS-414-I-Y-X	15x15	1064	0.50x0.50	11
MS-415-I-Y-A	6x6	1064	0.40x0.40	11
MS-416-I-Y-X	3	1064	0.90x1.04	11
MS-544-I-Y-X	7x7	1064	0.70x0.70	15
MS-237-I-Y-X	7x7	1064	2.11x2.11	11
MS-476-I-Y-X	7x7	1064	2.11x2.11	15
MS-426-I-Y-A	6x6	1064	1.15x1.15	11
MS-427-I-Y-A	6x6	1064	0.80x0.80	11
MS-429-I-Y-X	5x5	1064	1.00x1.00	18
MS-025-I-Y-X	5x5	1064	1.00x1.00	25.4
MS-586-I-Y-A	4x4	1064	2.90x2.90	11
MS-239-I-Y-X	9x9	1064	0.21x0.21	11
MS-430-I-Y-X	9x9	1064	0.50x0.50	18
MS-240-I-Y-A	2x2	1064	13.58x13.58	11
MS-241-I-Y-A	8x8	1064	1.09x1.09	25.4
MS-585-I-Y-X	3x3	1064	0.30x0.30	25.4
MS-434-I-Y-X	5	1064	1.00x1.00	25.4
MS-437-I-Y-X	5x4	1064	0.98x1.01	25.4
MS-440-I-Y-X	19x19	1064	0.12x0.12	11
MS-441-I-Y-X	13x13	1064	0.33x0.33	11
MS-443-I-Y-X	3x3	1064	0.060x0.060	25.4
MS-443-I-Y-N	3x3	1064	0.060x0.060	25.4
MS-444-I-Y-X	2x3	1064	0.90x0.52	11
MS-445-I-Y-A	2x2	1064	1.42x1.42	25.4
MS-446-I-Y-A	8x8	1064	1.09x1.09	20
MS-452-I-Y-X	3x11	1064	0.033x0.11	25.4
MS-458-I-Y-X	3x3	1064	0.50x0.50	25.4
MS-459-I-Y-A	4x4	1064	1.94x1.94	25.4
MS-460-I-Y-A	6x8	1064	0.50x0.50	25.4
MS-461-I-Y-X	15x15	1064	0.31x0.31	11
MS-462-I-Y-X	5x33	1064	1.18x0.59	11
MS-249-I-Y-X	9x9	1064	0.50x0.50	27.94
MS-516-I-Y-A	10x10	1064	0.93x0.93	14.1x14.1
MS-471-I-Y-X	3	1064	2.60x3.00	20
MS-472-I-Y-X	2x3	1064	2.60x1.50	20
MS-515-I-Y-X	32	1064	5.00x5.00***	11
MS-478-I-Y-A	2x2	1064	2.77x2.77	11
MS-479-I-Y-A	8x8	1064	0.69x0.69	11
MS-480-I-Y-X	3	1064	0.18x0.21	25.4
MS-500-I-Y-A	10x10	1064	0.93x0.93	20
MS-250-I-Y-X	37	1064	0.16x0.092	25.4
MS-514-I-Y-X	31x31	1064	0.17x0.17	11
MS-591-I-Y-A	6x6	1064	0.23x0.23	11
MS-504-I-Y-A	16x16	1064	0.20x0.20	20x20
MS-477-I-Y-A	4x4	1064	0.21x0.21	25.4
MS-465-I-Y-X	25x25	1064	0.016x0.016	14.1x14.1
MS-464-I-Y-X	13x13	1064	0.015x0.015	14.1x14.1
MS-424-I-Y-X	61x61	1064	18.37x18.37***	2.45x2.45
MS-423-I-Y-X	41x41	1064	18.41x18.41***	2.45x2.45
MS-532-I-Y-A	128x128	1064	0.24x0.24	10x10
MS-534-I-Y-A	64x64	1064	0.044x0.044	10x10
MS-536-I-Y-A	10x10	1064	1.87x1.87	14.1x14.1
MS-541-I-Y-A	64x64	1064	0.066x0.066	10x10
MS-422-I-Y-X	21x21	1064	18.38x18.38***	2.45x2.45
MS-413-I-Y-A	64x64	1064	0.48x0.48	10x10
MS-412-I-Y-A	128x64	1064	0.060x0.033	10x10
MS-236-I-Y-X	5x5	1064	2.68x2.68	11x11
MS-553-I-Y-A	2x2	1064	9.21x9.21	25.4x25.4
MS-238-I-Y-X	7x7	1064	2.11x2.11	11x11
MS-559-I-Y-A	2x2	1064	28.52x28.52	20x20
MS-411-I-Y-A	128x64	1064	0.16x0.16	10x10
MS-503-I-Y-A	2x2	1064	8.72x8.72	20x20
MS-563-I-Y-A	2x2	1064	1.41x1.41	25.4
MS-564-I-Y-A	2x2	1064	0.29x0.29	25.4
MS-404-I-Y-X	81x81	1064	18.37x18.37***	2.5x2.5
MS-375-I-Y-A	10x10	1064	0.069x0.069	25.4
MS-363-I-Y-X	101x101	1064	40.66x40.66***	10x10
MS-568-I-Y-A	2x2	1064	1.08x1.08	11
MS-569-I-Y-A	2x2	1064	0.48x0.48	11
MS-570-I-Y-A	2x2	1064	0.21x0.21	11
MS-362-I-Y-X	3x3	1064	3.27x5.68	33x33
MS-324-I-Y-X	5x5	1064	3.81x2.87	9.8x9.8
MS-574-I-Y-A	2x2	1064	0.35x0.35	15
MS-326-I-Y-X	3x3	1064	7.64x5.75	9.8x9.8
MS-325-I-Y-A	4x4	1064	5.08x3.81	9.8x9.8
MS-405-I-Y-X	119x119	1064	18.37x18.37***	2.5x2.5
MS-578-I-Y-X	11x11	1064	0.26x0.26	5x5
MS-328-I-Y-X	19x13	1064	0.85x0.95	9.8x9.8
MS-246-I-Y-X	29x29	1064	1.43x1.43	25.7x25.7
MS-558-I-Y-A	2x2	1064	28.52x28.52	20x20
MS-552-I-Y-X	3x5	1064	2.67x2.01	22x22

客戶定制點陣分束器

型號	點數	波長[nm]	發散角 [deg]	元件大小 [mm]	備注
MS-231-I-Y-A	7	1064	0.23x0.13	25.4	六邊形
MS-231-I-Y-X	7	1064	0.23x0.13	25.4	六邊形
MS-250-I-Y-X	37	1064	0.16x0.092	25.4	六邊形
MS-292-I-Y-X	9x9	1064	0.061x0.061***	27.94	邊框形
MS-514-I-Y-X	31x31	1064	0.17x0.17	11	圓形
MS-337-I-Y-X	77	1064	5.73x5.73***	11
MS-339-I-Y-X	3	1064	0.35x0.47	25.4	三角形
MS-356-I-Y-X	12	1064	9.15x9.15***	25.4	圓形
MS-480-I-Y-X	3	1064	0.18x0.21	25.4	三角形
MS-383-I-Y-X	76	1064	0.50x0.50	25.4	六邊形點格
MS-386-I-Y-X	5	1064	13.58x13.58	25.4	方格形
MS-388-I-Y-X	76	1064	0.50x0.50	11	六邊形點格
MS-395-I-Y-X	37	1064	0.19x0.33	15	六邊形
MS-515-I-Y-X	32	1064	5.00x5.00***	11	圓形
MS-471-I-Y-X	3	1064	2.60x3.00	20	三角形
MS-416-I-Y-X	3	1064	0.90x1.04	11	三角形
MS-434-I-Y-X	5	1064	1.00x1.00	25.4	方格形
MS-423-I-Y-X	41x41	1064	18.41x18.41***	2.45x2.45
MS-424-I-Y-X	61x61	1064	18.37x18.37***	2.45x2.45
MS-422-I-Y-X	21x21	1064	18.38x18.38***	2.45x2.45
MS-464-I-Y-X	13x13	1064	0.015x0.015	14.1x14.1	圓形
MS-465-I-Y-X	25x25	1064	0.016x0.016	14.1x14.1	圓形
MS-405-I-Y-X	119x119	1064	18.37x18.37***	2.5x2.5
MS-363-I-Y-X	101x101	1064	40.66x40.66***	10x10
MS-503-I-Y-A	2x2	1064	4.36x4.36	20x20	強度 100/50
MS-404-I-Y-X	81x81	1064	18.37x18.37***	2.5x2.5
MS-328-I-Y-X	19x13	1064	0.85x0.95	9.8x9.8	十字形

二元相位光柵 – 衍射光柵

二元相位光柵為占空比為50%一維透射光柵

周期 [um]	長度/mm	周期 [um]	長度/mm
2	500	450	2.222
4	250	478.25	2.091
6	166.667	673.125	1.486
8	125	800	1.25
11.25	88.889	830	1.205
12	83.333	848	1.179
14	71.429	847.875	1.179
16	62.5	890	1.124
18	55.556	1230	0.813
19	52.632	1598	0.626
22.5	44.444	1907	0.524
24	41.667	3231	0.31
25	40	3869	0.258
25.75	38.835	56	17.857
27	37.037	61	16.393
29.5	33.898	80	12.5
33.25	30.075	86	11.628
36	27.778	90.375	11.065
39	25.641	115.75	8.639
42	23.81	132.5	7.547
45	22.222	225	4.444
47	21.277	243	4.115
48	20.833	415	2.41
50	20

漩渦鏡

漩渦鏡(螺旋相位板)是一種由螺旋結構構成的特殊光學元件，可改變透射光束的相結構，將高斯入射激光束轉變成圓環光斑。

漩渦鏡

型號	波長[nm]	元件大小 [mm]	效率效率[%]	拓撲電荷數*	外環大小 [um]
VL-209-I-Y-A	1064	25.4	95	1	54.73
VL-215-I-Y-A	1064	25.4	95	3	111.36
VL-216-I-Y-A	1064	25.4	95	2	81.55
VL-217-I-Y-A	1064	25.4	90	1	54.73
VL-218-I-Y-A	1064	25.4	92	4	142.79
VL-227-I-Y-A	1064	11	92	3	111.36
VL-204-I-Y-A	1064	11	92	1	54.73
VL-214-I-Y-A	1064	25.4	95	1	54.73
VL-208-I-Y-A	1064	25.4	92	1	54.73
VL-219-I-Y-A	1064	25.4	95	3	111.36
VL-220-I-Y-A	1064	25.4	95	2	81.55
VL-221-I-Y-A	1064	25.4	37***	1	54.73
VL-222-I-Y-A	1064	25.4	37***	1	54.73
VL-224-I-Y-A	1064	25.4	37***	1	54.73
VL-225-I-Y-A	1064	25.4	92	6	209.44
VL-226-I-Y-A	1064	11	95	3	111.36
VL-206-I-Y-A	1064	11	95	1	54.73
VL-228-I-Y-A	1064	11	92	6	209.44
VL-229-I-Y-A	1064	11	92	2	81.55
VL-230-I-Y-A	1064	25.4	95	6	209.44
VL-231-I-Y-A	1064	25.4	95	4	142.79
VL-232-I-Y-A	1064	11	95	6	209.44
VL-233-I-Y-A	1064	11	95	12	411.57
VL-234-I-Y-A	1064	11	95	2	81.55
VL-235-I-Y-A	1064	11	95	4	142.79
VL-236-I-Y-A	1064	25.4	95	12	411.57
VL-237-I-Y-A	1064	11	92	5	175.3
VL-238-I-Y-A	1064	11	95	5	175.3
VL-239-I-Y-A	1064	25.4	92	12	411.57
VL-240-I-Y-A	1064	11	92	12	411.57
VL-241-I-Y-A	1064	25.4	92	8	276.09
VL-242-I-Y-A	1064	11	92	8	276.09
VL-243-I-Y-A	1064	11	92	4	142.79

*拓撲電荷數由長度單位來表征，指的是衍射面波前在一定距離內轉變360°的數量。拓撲電荷越大，波前角動量轉變越快，圓環光強分布尺寸就越大。

多焦點透鏡

多焦點衍射光學元件由平凸聚焦鏡和依附于其平面上的衍射元件構成，可將單個入射光斑同時聚焦于多個固定的焦平面上。多焦點透鏡可作為準細長聚焦元件，增加聚焦深度，應用于玻璃激光切割和微加工領域。

多焦點透鏡

型號	波長[nm]	焦點數	元件大小[mm]	焦點平均間距 [um]
BF-005-I-Y-A	1064	2	25.4	598
MF-001-I-Y-A	1064	5	15	112.8
MF-002-I-Y-A	1064	7	25.4	95.3
MF-005-I-Y-A	1064	4	11	549
MF-006-I-Y-A	1064	15	11	610.4
MF-007-I-Y-A	1064	5	11	146.6
BF-006-I-Y-A	1064	2	11	1995
BF-014-I-Y-A	1064	2	11	301
BF-015-I-Y-A	1064	2	25.4	31
TF-008-I-Y-A	1064	3	11	535.7
MF-003-I-Y-A	1064	9	15	68.5
MF-004-I-Y-A	1064	11	25.4	121.3
TF-004-I-Y-A	1064	3	11	150.5
TF-005-I-Y-A	1064	3	25.4	15.5
TF-010-I-Y-A	1064	3	11	667.4
TF-011-I-Y-A	1064	3	11	414.7
MF-009-I-Y-A	1064	6	15	94.5
MF-011-I-Y-A	1064	5	11	238.1
MF-012-I-Y-A	1064	15	25.4	125.6
MF-013-I-Y-A	1064	5	11	192.3
TF-012-I-Y-A	1064	3	11	226
BF-021-I-Y-A	1064	2	38.1	5429.9
BF-016-I-Y-A	1064	2	25.4	13.3
BF-008-I-Y-A	1064	2	11	1071.5
BF-017-I-Y-A	1064	2	11	1334.8
BF-018-I-Y-A	1064	2	11	829.4
BF-019-I-Y-A	1064	2	11	452
TF-003-I-Y-A	1064	3	25.4	299
TF-009-I-Y-A	1064	3	11	997.5
BF-020-I-Y-A	1064	2	11	1602.6
MF-008-I-Y-A	1064	5	15	112.8

光束采樣器

在大多數應用中，希望在不干擾0級光傳輸的情況下得到一個小功率的高級衍射采樣激光，結合激光探測器，實現激光功率和相位的實時測量。衍射光束采樣器用于高功率激光采樣測量，采樣光束具有較小的光學損耗和波前畸變。激光經過衍射采樣器，絕大部分能量會沿著原來的方向繼續傳播(0級光)，而在0級光兩側形成小功率的衍射激光(-1級和+1級)。衍射光的分散角可以根據用戶要求定制。

光束采樣器

型號	波長[nm]	采樣能量 [%]	采樣角 [deg]	元件大小 [mm]
SA-010-I-Y-A	1064	0.4	15.43	12x12
SA-014-I-Y-A	1064	0.4	15.43	25.4
SA-022-I-Y-A	1064	1.22	2.07	25.4
SA-220-I-Y-A	1064	0.5	10.21	11
SA-020-I-Y-A	1064	1	1.27	27.94
SA-021-I-Y-A	1064	1	1	25.4
SA-219-I-Y-A	1064	0.5	2.44	25.4
SA-204-I-Y-A	1064	0.5	2.07	25.4
SA-206-I-Y-A	1064	1	2.07	25.4
SA-207-I-Y-A	1064	2	10	15
SA-218-I-Y-A	1064	0.5	1	25.4
SA-217-I-Y-A	1064	0.5	2.84	25.4
SA-216-I-Y-A	1064	0.5	3.81	25.4
SA-213-I-Y-A	1064	0.5	9.21	15
SA-215-I-Y-A	1064	0.5	5.09	25.4
SA-208-I-Y-A	1064	2	5.09	15
SA-211-I-Y-A	1064	1	20.77	10x10
SA-209-I-Y-A	1064	3.8	15.43	10.7x10.7
SA-011-I-Y-A	1064	1.6	15.43	12x12
SA-012-I-Y-A	1064	3.8	15.43	12x12
SA-214-I-Y-A	1064	0.5	7.64	9.8x9.8

環生成器

環生成器可將入射激光轉變成單個或多個圓環，圓環厚度等于衍射極限下的光斑大小，可應用于3D測繪領域。我們除了提供標準產品外，還可根據圓環數，圓環分離角等參數進行定制。

環生成器

單環生成器

型號	波長[nm]	元件大小 [mm]	環發散角 [deg]	圓環直徑[mm]*
DA-004-I-Y-A	1064	25.4	8.14	14.231
DA-011-I-Y-A	1064	25.4	0.061	0.106
DA-003-I-Y-A	1064	25.4	0.3	0.524
DA-017-I-Y-A**	1064	34	1.52	2.653
DA-006-I-Y-A	1064	11	0.24	0.419
DA-032-I-Y-A	1064	25.4	3.6	6.285
DA-008-I-Y-A	1064	11	0.49	0.855
DA-009-I-Y-A	1064	11	0.98	1.71
DA-010-I-Y-A	1064	25.4	0.081	0.141
DA-033-I-Y-A	1064	25.4	7.2	12.583
DA-012-I-Y-A	1064	11	2	3.491
DA-031-I-Y-A	1064	25.4	1.8	3.142
DA-014-I-Y-A**	1064	34	0.19	0.332
DA-015-I-Y-A**	1064	34	0.38	0.663
DA-016-I-Y-A**	1064	34	0.76	1.326
DA-005-I-Y-A	1064	11	0.12	0.209
DA-018-I-Y-A	1064	11	1.72	3.002
DA-019-I-Y-A	1064	11	2.29	3.997
DA-020-I-Y-A	1064	11	0.057	0.099
DA-021-I-Y-A	1064	11	0.086	0.15
DA-029-I-Y-A	1064	11	1.39	2.426
DA-028-I-Y-A	1064	11	0.7	1.222
DA-027-I-Y-A	1064	11	0.35	0.611
DA-026-I-Y-A	1064	11	0.17	0.297
DA-025-I-Y-A	1064	11	0.35	0.611
DA-024-I-Y-A	1064	11	0.17	0.297
DA-023-I-Y-A	1064	11	0.24	0.419
DA-013-I-Y-A	1064	34	0.19	0.332
DA-007-I-Y-A	1064	11	0.12	0.209
DA-002-I-Y-A	1064	7.25x7.25	30.85	55.183

*焦距100mm

同心圓生成器

型號	波長(nm)	環數	全角(Deg)	尺寸(mm)	材料	鍍膜
MC-006-I-Y-A	1064	2	1.83	11	熔融石英	V 減反膜
MC-005-I-Y-A	1064	2	3.66	11	熔融石英	V 減反膜
MC-017-1-Y-A	808	12	5.9	11	熔融石英	V 減反膜

雙波長聚焦鏡

雙波長聚焦鏡由平凸鏡和衍射元件組成，可將不同波長的兩束入射光聚焦于相同的焦點。例如，雙波長聚焦鏡可以消除CO2激光和可見光之間的色差，將兩束光聚焦于同一焦點。

通過衍射元件可將He-Ne激光與CO2激光同時聚焦于一點

兩種波長的光束通過一般光學透鏡時聚焦于不同的兩個點

帶有衍射圖案的透鏡可將不同波長的光束聚焦于同一點

雙波長聚焦鏡

型號	波長(nm)	入射光斑大小 @633nm(mm)	工作距離(mm)	元件直徑(mm)	材料	鍍膜
DW-201-AP-Y-A	10600, 633	4-8.8	125	15	ZnSe	V減反膜
DW-208-AP-Y-A	10600, 633	4-13.3	100	38.1	ZnSe	V減反膜
DW-202-AP-Y-A	10600, 633	4-12	20	19	ZnSe	V減反膜

電介質模塊

在玻璃基質上鍍上極薄(~1um)的一層反射膜圖案就構成了電介質模塊，其中有鍍膜的部分將反射入射光，在不鍍膜的地方入射光通過。在近場，光形狀非常接近鍍膜圖案，而在遠場位置會出現一些衍射模式，如果在電介質模塊后加入一個鏡片，就可以使相平面上的衍射減到無法察覺。電介質模塊可用于縮小光束整形器后光斑過渡區的大小。

型號	直徑(mm)	孔徑大小(um)	孔徑形狀	材料
DM-017	85	50.075	方形	熔融石英
DM-010	25.4	5680	圓形	熔融石英
DM-004	25.4	1750	方形	熔融石英
DM-009	25.4	6200	圓形	熔融石英
DM-019	25.4	300	方形	熔融石英
DM-007	25.4	10838	圓形	熔融石英
DM-006	25.4	7000	方形	熔融石英
DM-005	25.4	3500	方形	熔融石英
DM-008	20	8428	圓形	熔融石英
DM-016	11	5400	圓形	熔融石英
DM-015	11	3000	圓形	熔融石英
DM-014	11	4214.9	圓形	熔融石英
DM-013	11	2408	圓形	熔融石英
DM-012	11	3612	圓形	熔融石英
DM-011	11	4817	圓形	熔融石英
DM-003	11	165	方形	熔融石英
DM-002	11	65	方形	熔融石英

衍射光學調諧器

衍射光學調諧器的波長范圍為266nm-1064nm，能改變光斑的大小，發散角等參數，多與平頂分布整形器、勻束器和多點分束器等衍射光學元件結合使用。

衍射光學調諧器

衍射光學調諧器特性

小的波前畸變
0.8-1.2倍到光束放大倍數
無需改變模塊方向
滑動鏡頭
恒定的機械尺寸
熔融石英材質
23mm入射/出射孔徑
模塊長度120mm
最大輸入光斑：8.4mm(0.8倍)，7.0mm(1.2倍)
最大輸出光斑8.4mm
最大入射角0.5°
波長范圍：266-1064nm(可定制其他波長)

衍射光學調諧器的不同配置

1、將調諧器放置在衍射光學元件前面

目的：微調入射光束參數
應用：平頂光束整形器--達到名義光斑尺寸
光束分束器，多波長聚焦鏡和螺旋相位板--控制光斑大小

前置衍射光學調諧器

2、后置衍射光學調諧器

目的：控制輸出光束發散角，關鍵參數調節范圍80-120%

應用：

多光束分束器 – 控制分離角
多焦點聚焦– 控制焦點間距
平頂整形器和勻化器–控制像的大小

后置衍射光學調諧器

衍射除噪模塊

衍射除噪模塊由6個鏡片和中間的孔或擋板組成，主要用于消除多光斑系統中多余光斑或勻化系統中的寄生光。衍射除噪器可根據用戶的參數要求制作特別的孔位或擋板。

模塊參數

最大輸入光斑：12mm
最大全圓角(12mm入射光斑)：5度
輸入光斑小于12mm時全圓角大于5度
模塊長度：90mm(不包括衍射光學元件和聚焦鏡)
模塊輸出端外徑：30.5mm(鏡片直徑25.4mm)
鏡片材料：N-SF11

聚焦模塊

聚焦模塊用于光束整形器中，可以實現高精度無球差聚焦。聚焦模塊由5個鏡片組成，能工作在355nm波長領域，在模塊后焦距平面內得到平頂分布輸出。我們可以按照客戶要求定制不同工作波長和聚焦距離的聚焦模塊。

特性

無像差模塊
聚焦距離：30-50mm
波長(最佳)：355nm
材料：熔融石英
最大光斑輸入：12mm
選項：目鏡修正圈

不同聚焦元件仿真結果對比(面積100x100μm2)

型號	聚焦距離 (mm)	輸出孔徑 (mm)	最大輸入光斑(mm)	材料	模塊長度(mm)
ST-001-U	50	45	12	熔融石英	38.5
ST-002-U	30	45	12	熔融石英	31

衍射擴束器

衍射擴束器能以一定倍數增加或減少衍射元件出射光的發散角和大小，相對于標準擴束器，衍射擴束器由于考慮了光束整形、光束分束和光束聚焦的特點，極大的減小了輸出的光束的畸變。衍射擴束器可運用于以下應用

將衍射擴束器與衍射元件結合起來能實現單原件無法實現的綜合功能。
將衍射擴束器與固定發散角的標準、半標準或在售的衍射元件結合使用，可快速改變其發散角，從而能夠節約成本并快速交付。
我們也可以通過客戶的要求定制衍射擴束器。

技術參數

材料	熔融石英
透過率	≥ 97%
固定放大倍數	x5 and x9.4
可搭配衍射元件	光束分束器，勻化器，平頂整形器，螺旋相位板，衍射錐鏡，圓環生成器
最佳搭配	方形整形器
波長范圍	266nm to 1550nm

典型設置

型號	放大倍數	最大輸入輸出孔徑(mm)	最大輸入光斑 (mm)	最大入射角 (deg)	模塊長度	模塊外直徑
DOE_Expander_x10	x9.4	23	14	3	130	35
DOE_Expander_x5	x5	23	14	3	110	35