光束整形器 DOE

DOE勻化器

DOE勻化器是一種基于衍射光學(xué)原理設(shè)計(jì)的平板光學(xué)元件，由液晶聚合物（LCP）薄膜和兩片N-BK7窗口片組成。根據(jù)已知的入射光參數(shù)、透鏡焦距以及預(yù)期出射光參數(shù)，通過點(diǎn)對(duì)點(diǎn)映射方式計(jì)算得到設(shè)計(jì)相位，最后利用LCP薄膜引入設(shè)計(jì)好的幾何相位分布實(shí)現(xiàn)對(duì)高斯（TEM00，M2<1.3）入射光的整形和勻化。DOE勻化器能夠?qū)崿F(xiàn)單模激光的方形、圓形、線形等任意幾何形狀的非準(zhǔn)直勻化效果。由于其具有高均勻度、高透過率、高損傷閾值、邊界銳利等優(yōu)點(diǎn)，在激光醫(yī)美、激光加工、表面處理等多種場(chǎng)景中具有很大的應(yīng)用前景，如激光焊接、激光打標(biāo)、激光切割、皮膚美容和激光治療等。能夠帶來(lái)更高的能量利用率、更好的加工質(zhì)量、更高的加工精度、更靈活可控的加工尺度調(diào)節(jié)。除了標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品外，我們還提供參數(shù)規(guī)格的靈活定制，如需紫外/高功率勻化DOE，請(qǐng)聯(lián)系我們。

方型DOE勻化器（左），圓型DOE勻化器（中）和一字線型DOE勻化器（右）

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 平板結(jié)構(gòu)，體積小，易集

• 透射型勻化，能量利用率高

• 連續(xù)型相位，衍射效率高，勻化效果好

• 定制靈活，勻化光斑尺寸可調(diào)

• 適合高質(zhì)量單模激光的非準(zhǔn)直勻化

標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號(hào)

性能參數(shù)

• 出射光斑尺寸：光斑歸一化能量分布的半高寬尺寸

• 出射光斑不均勻性：光斑歸一化能量分布90%以上區(qū)域的能量均方根誤差

• 傳輸區(qū)域?qū)挾龋哼吘墔^(qū)域在歸一化能量13.5%-90%區(qū)間內(nèi)對(duì)應(yīng)的寬度

• 衍射效率：光斑歸一化能量分布90%以上區(qū)域的能量占所有出射光能量之比

性能曲線

勻化DOE應(yīng)用光路搭設(shè)示例

分束DOE

分束DOE常由基于像素點(diǎn)的周期性相位設(shè)計(jì)或光柵級(jí)聯(lián)兩種方案的單獨(dú)作用或結(jié)合使用，實(shí)現(xiàn)一維或二 維、奇數(shù)或偶數(shù)分束效果。我們提供的分束DOE分為級(jí)聯(lián)光柵分束器和液晶分束器，其中級(jí)聯(lián)光柵分束器（Multilayer  Grating Beam Splitter，MLGS）采用N-BK7玻璃基底和液晶聚合物（Liquid Crystal Polymers，LCP）材料制成，由三層1英寸雙切邊襯底涂敷具備光柵和波片結(jié)構(gòu)的LCP層組成，為單波長(zhǎng)器件。當(dāng)入射光為線偏振光時(shí)，根據(jù)各級(jí)光柵柵線的相對(duì)位置關(guān)系為平行或垂直，級(jí)聯(lián)光柵分束器能夠?qū)崿F(xiàn)一維或二維的四分束功能，且得到的各束光為旋向不同的圓偏振光，其分束角與各級(jí)光柵周期相關(guān)。級(jí)聯(lián)光柵具有較高的透過率，通過更優(yōu)的相位設(shè)計(jì)和精確的延遲量控制，使其具有比典型達(dá)曼光柵分束器更高的分束效率和分束均勻性，且能保證較高的分束角精度。我們的液晶分束（Liquid Crystal Beam Splitter，LCBS）DOE采用N-BK7玻璃基底和液晶聚合物（Liquid Crystal Polymers，LCP）材料制成，呈現(xiàn)為典型的三明治平片結(jié)構(gòu)，為單波長(zhǎng)器件。液晶分束DOE的相位結(jié)構(gòu)根據(jù)預(yù)期的分束模式、分束光斑間隔或光束分離角度等需求，基于衍射光學(xué)原理進(jìn)行設(shè)計(jì)，通過對(duì)相應(yīng)衍射級(jí)次的能量進(jìn)行分配來(lái)實(shí)現(xiàn)預(yù)期分束效果。與級(jí)聯(lián)光柵分束器相比，分束DOE對(duì)入射光偏振態(tài)無(wú)要求，且可實(shí)現(xiàn)奇數(shù)分束；與達(dá)曼光柵分束器相比，分束DOE衍射效率及分束光斑均勻性更優(yōu)；與傳統(tǒng)刻蝕DOE相比，液晶分束DOE更易實(shí)現(xiàn)多階數(shù)相位變化，從而達(dá)到更高的衍射效率，工藝難度也明顯降低。因此，基于液晶分束DOE高衍射效率、高分束均勻性、高分離角精度、低無(wú)效衍射級(jí)次噪聲影響、工藝簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)，其可用于并行激光加工、光傳感探測(cè)、光醫(yī)療美容等眾多應(yīng)用方向中，以提升加工效率和一致性。

我們提供的標(biāo)準(zhǔn)分束DOE工作波長(zhǎng)λ為532nm和1064nm，其中級(jí)聯(lián)光柵分束器分束模式為1×4和2×2可選，液晶分束DOE分束模式有1×3、1×9和2×3可選，除現(xiàn)有標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品外，另提供各項(xiàng)參數(shù)規(guī)格的靈活定制，以方便用戶在不同應(yīng)用場(chǎng)景下的多樣化需求。

1×4、2×2級(jí)聯(lián)光柵分束器中一級(jí)、二級(jí)光柵在線偏振光下形貌 （左）和1×3、1×9、2×3二維液晶分束DOE相位圖（右）

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 平板結(jié)構(gòu)，體積小，易集成

• 透射式元件，能量利用率高

• 連續(xù)型相位，衍射效率高，分束均勻性好

• 定制靈活，分束角精度高，分束角可調(diào)

• 適用于多種類型光源的分束

標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號(hào)

性能參數(shù)

• 分束均勻性：對(duì)于分束得到的各光斑能量，均勻性定義為（1-極差/極和）×100 %

• 衍射效率：分束得到的有效級(jí)次能量占所有出射光能量之比

• 分束角：對(duì)于不同的分束方案有不同的定義

性能曲線

分束DOE應(yīng)用光路搭設(shè)示例

焦點(diǎn)整形DOE

焦點(diǎn)整形DOE可調(diào)制z方向上的光束能量分布，具體又分為長(zhǎng)焦深整形和多焦點(diǎn)整形兩種效果。常用于激光加工中的切割應(yīng)用，以得到更平整的切割斷面，更好的切割質(zhì)量。我們提供長(zhǎng)焦深和多焦點(diǎn)兩種焦點(diǎn)整形DOE，其中長(zhǎng)焦深DOE為平板錐透鏡（PB  Axicon，PBA），是基于N-BK7玻璃基底和液晶聚合物（Liquid Crystal Polymers，LCP）材料制成，呈現(xiàn)為“前后玻璃襯底，中間LCP功能膜層”的三明治結(jié)構(gòu)。在LCP層中，液晶分子的快軸取向沿基片徑向呈等周期漸變分布，其在整個(gè)器件平面上具有相同的λ/2延遲量，為單波長(zhǎng)器件。平板錐透鏡具有偏振相關(guān)的光學(xué)特性，根據(jù)入射光束偏振態(tài)的不同，可用于實(shí)現(xiàn)光束環(huán)形會(huì)聚或發(fā)散；當(dāng)入射光為左旋圓偏振光時(shí)，還可同時(shí)用于生成具有無(wú)衍射特性、自恢復(fù)特性的貝塞爾光束。相較于傳統(tǒng)的錐透鏡，我們的平板錐透鏡為平板結(jié)構(gòu)，無(wú)立體錐尖，更易集成；同時(shí)其錐尖部分的結(jié)構(gòu)成型依賴于液晶分子的取向變化，可以達(dá)到微米級(jí)的加工精度；另外還具備大色散的特點(diǎn)。

多焦點(diǎn)（Multi Focal，MF）DOE也采用N-BK7玻璃基底和液晶聚合物材料制成，由兩層1 英寸玻璃襯底和單層帶有設(shè)計(jì)相位的LCP層組成，為單波長(zhǎng)器件。多焦點(diǎn)DOE是一種用于焦點(diǎn)整形的衍射光學(xué)元件，可實(shí)現(xiàn)入射光在軸向上聚焦為固定個(gè)數(shù)、相等間距、能量均勻的焦點(diǎn)，其利用光的衍射原理來(lái)設(shè)計(jì)相位，并通過光控取向使液晶聚合物薄膜形成設(shè)計(jì)好的相位結(jié)構(gòu)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)入射光的相位調(diào)制，使光分散在不同的衍射級(jí)次，最后利用聚焦透鏡使各個(gè)級(jí)次聚焦從而形成多個(gè)焦點(diǎn)。因此，多焦點(diǎn)DOE一般與物鏡搭配使用，以方便實(shí)現(xiàn)一般應(yīng)用情境下的多焦點(diǎn)需求。多焦點(diǎn)DOE主要應(yīng)用于激光深度切割，如透明玻璃、藍(lán)寶石等的切割，相比于傳統(tǒng)激光切割，其可以利用軸向多個(gè)均勻排布的焦點(diǎn)對(duì)材料進(jìn)行深度切割，從而達(dá)到較為理想的平整切面。

我們提供工作波長(zhǎng)為532nm、633nm、1064nm，偏轉(zhuǎn)角（半角）為0.5 °、1 °、2.0 °、2.3 °、4.7 °的1英寸標(biāo)準(zhǔn)平板錐透鏡， 提供工作波長(zhǎng)為1064 nm，焦點(diǎn)個(gè)數(shù)為3 個(gè)和5 個(gè)的標(biāo)準(zhǔn)多焦點(diǎn)DOE，除了標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品外我們，同時(shí)支持參數(shù)規(guī)格的靈活定制，以方便用戶在不同應(yīng)用場(chǎng)景下的多樣化需求。 

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 平板結(jié)構(gòu)，體積小，易集成

• 透射式元件，能量利用率高

• 衍射錐鏡“錐尖”精度高，衍射效率高，焦深可選

• 多焦點(diǎn)DOE定制靈活，焦點(diǎn)個(gè)數(shù)、間距和能量分布可調(diào)

• 適合高質(zhì)量單模激光

標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號(hào)

性能參數(shù)

• 偏轉(zhuǎn)角：準(zhǔn)直光束入射后得到的出射光束會(huì)聚或發(fā)散角的半角

• 焦點(diǎn)能量均勻度：對(duì)于多焦點(diǎn)整形得到的各焦點(diǎn)能量，均勻性定義為（1-極差/極和）×100 %

• 零級(jí)占比：長(zhǎng)焦深整形得到的零級(jí)光斑能量占所有出射光能量之比

性能曲線

焦點(diǎn)整形DOE應(yīng)用光路搭設(shè)示例

環(huán)形整形DOE

環(huán)形整形DOE基于其不同相位，可以實(shí)現(xiàn)不同類型的環(huán)形整形效果，如渦旋波片產(chǎn)生的渦旋光、衍射錐鏡 產(chǎn)生的遠(yuǎn)場(chǎng)環(huán)形光等。其中，渦旋光常用于光鑷、超分辨顯微、光刻等多種應(yīng)用；遠(yuǎn)場(chǎng)環(huán)形光則常用于原子陷俘、角  膜手術(shù)、激光鉆孔等多種應(yīng)用。

渦旋波片（Vortex Retarder，VR）是基于N-BK7玻璃基底和液晶聚合物（Liquid Crystal Polymers，LCP）材料制成，呈現(xiàn)為“前后玻璃襯底+中間LCP功能膜層”的三明治結(jié)構(gòu)，安裝于標(biāo)準(zhǔn)SM1透鏡套筒中。在LCP層中，液晶分子的快軸取向沿基片徑向一致，沿基片角向連續(xù)漸變。其在整個(gè)器件平面上具有相同的 λ/2延遲量，為單波長(zhǎng)器件。渦旋波片具有偏振相關(guān)的光學(xué)特性，根據(jù)入射光束偏振態(tài)的不同，可用于生成矢量偏振光束或具備螺旋相位波前的渦旋光束，可將TEM00模高斯光束轉(zhuǎn)換為“空心孔型”的拉蓋爾-高斯（Laguerre-Gaussian，LG）強(qiáng)度分布（以上光學(xué)特性詳見技術(shù)說(shuō)明）。相較于傳統(tǒng)的光場(chǎng)調(diào)控方式，渦旋波片具有高效穩(wěn)定、操作簡(jiǎn)易、功能專一的優(yōu)勢(shì)；其真零級(jí)特點(diǎn)也幫助實(shí)現(xiàn)了較低的波長(zhǎng)敏感性、較高的溫度穩(wěn)定性和較大的入射角范圍。

平板錐透鏡（PB Axicon，PBA），是基于N-BK7玻璃基底和液晶聚合物（Liquid Crystal Polymers，LCP）材料制成，呈現(xiàn)為“前后玻璃襯底，中間LCP功能膜層”的三明治結(jié)構(gòu)。在LCP層中，液晶分子的快軸取向沿基片徑向呈等周期漸變分布，其在整個(gè)器件平面上具有相同的λ/2延遲量，為單波長(zhǎng)器件。平板錐透鏡具有偏振相關(guān)的光學(xué)特性，根據(jù)入射光束偏振態(tài)的不同，可用于實(shí)現(xiàn)光束環(huán)形會(huì)聚或發(fā)散；當(dāng)入射光為左旋圓偏振光時(shí)，還可同時(shí)用于生成具有無(wú)衍射特性、自恢復(fù)特性的貝塞爾光束。相較于傳統(tǒng)的錐透鏡，我們的平板錐透鏡為平板結(jié)構(gòu)，無(wú)立體錐尖，更易集成；同時(shí)其錐尖部分的結(jié)構(gòu)成型依賴于液晶分子的取向變化，可以達(dá)到微米級(jí)的加工精度；另外還具備大色散的特點(diǎn)。

我們提供的標(biāo)準(zhǔn)渦旋波片工作波長(zhǎng)在405~1550 nm 之間，階數(shù)m為1~128，標(biāo)準(zhǔn)1英寸平板錐透鏡工作波長(zhǎng)為532nm、633nm、1064nm，偏轉(zhuǎn)角（半角）為0.5 °、1 °、2.0 °、2.3 °、4.7 °，除了標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品外我們，同時(shí)支持參數(shù)規(guī)格的靈活定制，以方便用戶在不同應(yīng)用場(chǎng)景下的多樣化需求。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 平板結(jié)構(gòu)，體積小，易集成

• 透射式元件，能量利用率高

• 渦旋光場(chǎng)調(diào)控過程操作簡(jiǎn)易、轉(zhuǎn)換效率高

• 衍射錐鏡“錐尖”精度高，衍射效率高，環(huán)寬及直徑可調(diào)

• 適合高質(zhì)量單模激光

標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號(hào)

性能參數(shù)

• 偏轉(zhuǎn)角：準(zhǔn)直光束入射后得到的出射光束會(huì)聚或發(fā)散角的半角

• 轉(zhuǎn)換效率：拉蓋爾-高斯能量分布中1階能量占所有出射光能量之比

• 零級(jí)占比：長(zhǎng)焦深整形得到的零級(jí)光斑能量占所有出射光能量之比

性能曲線

透鏡陣列勻化器

透鏡陣列勻化器能夠?qū)崿F(xiàn)多模激光不同形狀的非準(zhǔn)直勻化效果。可用于醫(yī)療美容方向的光束勻化、機(jī)器視覺方向的背景光勻化等場(chǎng)景。

我們的透鏡陣列勻化器包括平板微透鏡陣列和平板柱透鏡陣列，其中平板微透鏡陣列是一種基于液晶聚合物的衍射光學(xué)原理實(shí)現(xiàn)激光勻束、光束整形的平板光學(xué)元件，由聚合物薄膜和單片N-BK7窗口片組成，利用液晶聚合物薄膜上的陣列式相位分布實(shí)現(xiàn)微透鏡陣列功能。其出射光束形態(tài)與微透鏡單元的各項(xiàng)參數(shù)相關(guān)，通過調(diào)整微透鏡單元的相位周期及輪廓，能夠靈活控制出射光束的發(fā)散角大小和光斑形狀，實(shí)現(xiàn)多種不同形狀及大小的激光勻束和光束整形需求。該器件與入射光偏振態(tài)相關(guān)，控制入射光為右旋或左旋圓偏振光，可使光束經(jīng)過單元透鏡后產(chǎn)生發(fā)散或會(huì)聚，基于衍射原理，單元透鏡發(fā)散或會(huì)聚角遵循sinθ=λ/p，λ為設(shè)計(jì)波長(zhǎng)，p為單透鏡徑向相位周期。同時(shí)，微透鏡陣列為單波長(zhǎng)設(shè)計(jì)，無(wú)球差，入射面鍍有增透膜，具有較高的透過率和衍射效率，在波前傳感、光聚能、光整形等多種系統(tǒng)中可得到廣泛應(yīng)用，在光信息處理、光互連、光計(jì)算、圖像掃描儀、光場(chǎng)相機(jī)、醫(yī)療器械、3D成像和顯示等領(lǐng)域中，有巨大發(fā)展?jié)摿ΑＦ桨逯哥R陣列是一種基于液晶聚合物的衍射光學(xué)原理實(shí)現(xiàn)光束一維整形和勻化的平板光學(xué)元件，由聚合物薄膜和雙片N-BK7窗口片組成，聚合物薄膜上的一維陣列式相位分布實(shí)現(xiàn)柱透鏡陣列功能。其對(duì)光束的調(diào)制作用與入射光束偏振特性和柱透鏡單元參數(shù)相關(guān)：通過將入射光束調(diào)節(jié)為左旋圓偏振光（右旋圓偏振光），可以得到先會(huì)聚后發(fā)散的右旋圓偏振出射光束（發(fā)散的左旋圓偏振出射光束），且發(fā)散或會(huì)聚角遵循sinθ=λ/p，其中，λ為設(shè)計(jì)波長(zhǎng)，p為單元柱透鏡相位周期，通過調(diào)節(jié)柱透鏡單元的相位周期，能夠靈活控制出射光束的發(fā)散角大小，實(shí)現(xiàn)不同規(guī)格的光束一維整形和勻化需求。同時(shí)，平板柱透鏡陣列為單波長(zhǎng)設(shè)計(jì)，無(wú)球差，入射面鍍有增透膜，具有較高的透過率和衍射效率。以上特性使得平板柱透鏡陣列在成像、機(jī)器視覺、半導(dǎo)體激光器準(zhǔn)直等科研領(lǐng)域的應(yīng)用中有著較大的潛力。

我們提供尺寸?25.4  mm，微透鏡單元焦距為5 mm、50 mm，出射光束形狀為方形，工作波長(zhǎng)為532 nm、633 nm、850 nm、915 nm、976 nm的標(biāo)準(zhǔn)微透鏡陣列，除此之外，還提供多規(guī)格定制服務(wù)，包括特殊尺寸、工作波長(zhǎng)、射束發(fā)散角、射束輪廓等指標(biāo)。

透鏡陣列勻化器(左)，偏光顯微鏡下平板微透鏡陣列結(jié)構(gòu)圖(中)，偏光顯微鏡下的平板柱透鏡陣列結(jié)構(gòu)圖(右)

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 平板結(jié)構(gòu)，體積小，易集成

• 透射型勻化，能量利用率高

• 連續(xù)型相位，高占空比，衍射效率高，勻化效果好

• 定制靈活，勻化形狀可選，發(fā)散角可調(diào)

• 更適合多模激光非準(zhǔn)直勻化

標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號(hào)

性能參數(shù)

• 出射光斑不均勻性：光斑歸一化能量分布90%以上區(qū)域的能量均方根誤差

• 衍射效率：光斑歸一化能量分布90%以上區(qū)域的能量占所有出射光能量之比

性能曲線

SLB系列折射光學(xué)模組

貝塞爾加工頭

貝塞爾加工頭是一種用于激光加工系統(tǒng)終端的光學(xué)模組，由折射和衍射型光學(xué)元件共同集成于金屬機(jī)械套筒中組成，通過錐透鏡的光場(chǎng)調(diào)控作用和雙遠(yuǎn)心光學(xué)系統(tǒng)的光束整形作用，能夠生成滿足激光加工要求的貝塞爾光束。貝塞爾加工頭適用于單模激光；其光學(xué)元件部分采用了高透過率基材，具有較高的能量利用率；緊湊的模塊化結(jié)構(gòu)易于集成，對(duì)各種激光加工系統(tǒng)有著較好的適配度；通過獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)非常小的像差；出射光斑中心主瓣尺寸＜?2μm，可實(shí)現(xiàn)0.2mm-12 mm深度范圍（包含定制）內(nèi)小崩邊、小熱影響區(qū)域、無(wú)錐度的切割效果。目前設(shè)計(jì)有工作波長(zhǎng)為1064nm，空氣焦深0.5、1、2、4、6、8mm的貝塞爾加工頭標(biāo)品，同時(shí)支持參數(shù)規(guī)格的靈活定制，以方便用戶在不同應(yīng)用場(chǎng)景下的多樣化需求。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 采用高透光學(xué)基材，整體透過率高

• 獨(dú)特光學(xué)設(shè)計(jì)，小像差，光斑尺寸＜2 μm

• 切割深度0.2-12 mm，適合不同厚度的材料

• 模塊緊湊，適配性高，易于集成

• 切割崩邊小，無(wú)錐度，熱影響區(qū)域小

標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號(hào)

F-Theta場(chǎng)鏡

F-Theta場(chǎng)鏡是一種平場(chǎng)掃描透鏡，采用高透過率的光學(xué)玻璃作為基材，由透鏡組以特定的設(shè)計(jì)方案集成于機(jī)械外殼中組成。其聚焦光束的高度為f×θ（θ為入射光束的入射角），因此輸入光束和輸出光束的角速度直接成正比，使掃描反射鏡能夠以恒定的角速度運(yùn)轉(zhuǎn)，常用于提高邊緣光束入射到探測(cè)器的能力、使探測(cè)器光敏面上的非均勻光得以均勻化、補(bǔ)償系統(tǒng)的場(chǎng)曲與畸變等。F-Theta場(chǎng)鏡在使用時(shí)能夠提供平場(chǎng)像平面，同時(shí)能極大簡(jiǎn)化控制電路，具有高透過率、大掃描范圍、低像差和低F-Theta畸變的特點(diǎn)，在中低激光功率的微加工方面，如標(biāo)刻機(jī)、雕刻機(jī)、激光打印機(jī)、傳真機(jī)、印刷機(jī)以及制作半導(dǎo)體集成電路的激光圖形發(fā)生器和激光掃描精密設(shè)備中，有較大發(fā)展?jié)摿Α?/p>

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 適用于高精度材料加工和掃描應(yīng)用

• 平場(chǎng)像平面，大掃描范圍

• 空氣隙設(shè)計(jì)，低像差設(shè)計(jì)

• 低F-Theta畸變

標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品型號(hào)

以SLB-FT-532-16-330-347為例，聚焦光斑尺寸分布圖（左）和場(chǎng)曲分布圖（右）

微納光學(xué)元件定制

微納光學(xué)元件又稱衍射光學(xué)元件，指的是一種在平整基底表面上通過各種方式做制備出微米、納米級(jí)尺度二維結(jié)構(gòu)的光學(xué)元件。微納光學(xué)元件以最高的效率將入射光束轉(zhuǎn)變?yōu)槿我夤獍咝螤睢０垂δ懿煌⒓{光學(xué)元件基本可以分為三類：光束整形器件、分束器、勻光器。  激光直寫技術(shù)是制作微納光學(xué)元件的主要技術(shù)之一。通過調(diào)制曝光光束功率密度、光束尺寸大小以及偏振態(tài)可以實(shí)現(xiàn)各種結(jié)構(gòu)。基于液晶微納產(chǎn)品制作工藝，目前我們可以制備工作波長(zhǎng)在400-2000nm范圍內(nèi)的各類液晶微納光學(xué)元件。基于結(jié)構(gòu)的不同，最小特征尺寸可達(dá)到5-0.2μm，且相位結(jié)構(gòu)可以靈活處理，基本可以制備任意一維、二維相位結(jié)構(gòu)，器件外觀尺寸上也支持多種厚度及口徑。