OSSL系列光學(xué)掃描振鏡是為光學(xué)應(yīng)用開發(fā)的具有高性能旋轉(zhuǎn)電機(jī)。它包括基于運(yùn)動(dòng)電磁技術(shù)的電機(jī)和高精度的位置檢測(cè)器，主要應(yīng)用領(lǐng)域是激光束偏轉(zhuǎn)鏡片的快速精準(zhǔn)定位。
基于多年開發(fā)和制造工業(yè)界掃描振鏡、掃描系統(tǒng)和掃描方案的經(jīng)驗(yàn)，我們研發(fā)出OSSL這款獨(dú)特動(dòng)態(tài)性能的振鏡。OSSL電機(jī)部分與鏡片負(fù)載完美配合，具有完美的動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性。軸向預(yù)置高精度軸承保證無反向間隙，高強(qiáng)度且低摩擦，使用壽命長(zhǎng)！
振鏡除了高精度光學(xué)位置檢測(cè)系統(tǒng)具有高重復(fù)性和低漂移特性外，還配備加熱器和溫度傳感器，讓振鏡即使在異常波動(dòng)環(huán)境中也能保持良好的溫度特性，保證了長(zhǎng)期工作狀態(tài)下的穩(wěn)定性。
我們提供的振鏡都配備了針對(duì)于各種典型波長(zhǎng)的鏡片，而且為了取得好的反射特性，所有反射鏡片的轉(zhuǎn)動(dòng)慣量、硬度和平面度都進(jìn)行了優(yōu)化。這款高品質(zhì)振鏡長(zhǎng)期連續(xù)使用沒有誤差累計(jì)，因?yàn)槠鋬?nèi)在集成的綜合性測(cè)量裝置確保系統(tǒng)質(zhì)量得到持續(xù)保持。
安裝
振鏡旋轉(zhuǎn)對(duì)稱法蘭結(jié)構(gòu)，便于安裝。安裝時(shí)振鏡外殼必須與機(jī)器結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)電氣上隔離。鏡片的限位機(jī)構(gòu)已經(jīng)集成在振鏡上，只需直接將鏡片安裝在振鏡的軸端即可使用。
OSSL系列振鏡性能指標(biāo)
| 型號(hào) | OSSL-XS | OSSL-T | OSSL-S | OSSL-M | OSSL-L |
| 轉(zhuǎn)子慣量 | 0.028g·cm | 0.125g·cm2 | 0.34g·cm2 | 1.2g·cm2 | 5.1g·cm2 |
| 轉(zhuǎn)矩常量 | 2.3N·mm/A | 5.3N·mm/A | 7.5N·mm/A | 15 N·mm/A | 24 N·mm/A |
| 線圈阻抗 | 3.9 Ω | 2.8 Ω | 2.7 Ω | 2.2 Ω | 0.85 Ω |
| 線圈感抗 | 90μH | 145 μH | 165 μH | 275 μH | 300 μH |
| 最大有效電流 | 1.8 A | 2.2 A | 2.5 A | 3.5 A | 5 A |
| 峰值電流 | 6 A | 10 A | 10 A | 10 A | 15 A |
| 帶電纜重量 | 49 g | 72 g | 263 g | 340 g | 425 g |
| 無電纜重量 | 23 g | 46 g | - | - | - |
| 接頭 | SD-9 socket | SD-9 socket | SD-15 socket | SD-15 socket | SD-15 socket |
| 建議負(fù)載慣量 | 0.02 g·cm2 | 0.1 g·cm2 | 0.35 g·cm2 | 1.2 g·cm2 | 8 g·cm2 |
| 最大負(fù)載慣量 | 0.05 g·cm2 | 0.5 g·cm2 | 1.5 g·cm2 | 6 g·cm2 | 25 g·cm2 |
| 建議光學(xué)孔徑 | 7mm | 8.5mm | 10mm | 14mm | 20-30mm |
| 小步長(zhǎng)階躍響應(yīng)時(shí)間 | 0.23 ms | 0.24 ms | 0.25 ms | 0.40 ms | 0.8 ms |
| 跟隨誤差 | 0.11 ms | 0.12 ms | 0.14 ms | 0.24 ms | 0.35 ms |
| 建議驅(qū)動(dòng)板 | microSSV | microSSV | miniSSVmicroAIOSSV30 | miniSSVSSV30 | SSV30 |
OSSL系列振鏡通用性能指標(biāo)(所有角度以機(jī)械角度計(jì))
| 光學(xué)性能 | 最大掃描角度 | ±12 ° |
| 非線性 | < 0.4 % ptp | |
| 偏置漂移 | < 15 μrad/K | |
| 增益漂移 | < 50 ppm/K | |
| 重復(fù)精度 | 5 μrad | |
| 位置檢測(cè)器 | 差模 | –11 μA/° |
| 共模 | –140 μA | |
| 位置檢查器電壓 | 6.5 V - 11.5 V | |
| 位置檢查器電流 | 35 mA - 60 mA | |
| 加熱器 | 加熱器阻抗 | 120 Ω |
| 溫度傳感器阻抗 | 1000Ω@ 25°C,578Ω@40°C | |
| 電纜 | 長(zhǎng)0.22 m | |
| 安裝要求 | 電氣絕緣隔離 | |
| 操作溫度 | 25 ± 20 °C | |
| 電氣連接 | 電源電壓 | ±(15+1.5) V DC |
| 輸入信號(hào) | 可選: ±4.8 V; ±9.6 V;±4.8 mA; ±9.6 mA | |
| 輸出信號(hào) | 3 態(tài)TTL 電平信號(hào) | |
| 8小時(shí)長(zhǎng)期工作漂移 | 啟動(dòng)后有溫度穩(wěn)定 | < 0.6 mrad 光學(xué)角度 |
| 啟動(dòng)后無溫度穩(wěn)定 | < 0.3mrad 光學(xué)和溫度產(chǎn)生的增益和偏置漂移 | |
| 操作溫度 | 25 ±10 °C |
Cambridge Technology擁有近50年的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，能夠設(shè)計(jì)、開發(fā)和制造創(chuàng)新型激光光束掃描方案，包括基于多邊形轉(zhuǎn)鏡和基于振鏡電機(jī)的光學(xué)掃描部件、2軸和3軸掃描頭、掃描子系統(tǒng)、大功率掃描頭，以及控制硬件和軟件。我們尤其擅長(zhǎng)于和主要的設(shè)備制造商合作，以設(shè)計(jì)出滿足其應(yīng)用需求的產(chǎn)品，從最大型的工程方案至最小的部件。主要市場(chǎng)應(yīng)用包括：先進(jìn)工業(yè)加工工藝，比如增材制造、激光模切、激光打標(biāo)和PCB鉆孔，以及各種醫(yī)療應(yīng)用，比如激光治療和光學(xué)相干斷層成像技術(shù)。
備受用戶歡迎的62xxH系列閉環(huán)掃描振鏡電機(jī)一直是業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的高性能激光光束掃描解決方案。每個(gè)電機(jī)均采用動(dòng)磁式激勵(lì)技術(shù)，并配有Cambridge Technology獨(dú)有的位置探測(cè)器。這種專利技術(shù)使電機(jī)在同類型產(chǎn)品中達(dá)到最快的掃描速度同時(shí)保持高精度。不論您注重的是速度、精度或是封裝，62xxH系列產(chǎn)品都會(huì)帶來最佳的性能和價(jià)值。
性能優(yōu)異、可靠性強(qiáng)，實(shí)現(xiàn)高價(jià)值應(yīng)用：
業(yè)內(nèi)最快的電機(jī)速度實(shí)現(xiàn)最大產(chǎn)能及最佳穩(wěn)定性
高精度輸出可滿足各種應(yīng)用的掃描需求
強(qiáng)大可靠的設(shè)計(jì)保證長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性及使用壽命
緊湊的封裝方式易于在小空間內(nèi)進(jìn)行集成
選擇范圍廣泛的鏡片尺寸（3-50mm）及鍍膜類型
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 6200H | 6210H | 6215H | 6220H | 6230H | 6231H | 6240H | 6250H | 6260H |
| 入射光直徑 (mm) | 3-7 | 3 - 7 | 3 - 7 | 5 - 10 | 8 - 15 | 8 - 15 | 12 - 25 | 25 - 75 | 30 - 100 |
| 激光波長(zhǎng)選項(xiàng) | 355/532/1030-1080nm/9.4-10.6μm，寬帶鍍膜：350nm–12μm | ||||||||
| 最大掃描角度（°） | 40° | 40° | 40° | ||||||
| 轉(zhuǎn)動(dòng)慣量(gm·cm2, ±10%) | 0.013 | 0.018 | 0.028 | 0.125 | 0.97 | 0.82 | 2.4 | 15.6 | 47.5 |
| 扭矩常數(shù)(dyne·cm /amp, ±10%) | 12000 | 27900 | 37800 | 61700 | 131000 | 111000 | 200000 | 708000 | 8.5x105 |
| 最高轉(zhuǎn)子溫度 (°C) | 110° | 110° | 110° | 110° | 110° | 110° | 110° | 110° | 110° |
| 熱阻 （轉(zhuǎn)子至機(jī)箱）（°C/W,最大） | 3.8 | 2.0 | 1.0 | 1.0 | 0.8 | 1.0 | 0.62 | 0.35 | 0.2 |
| 線圈電阻 （Ω，±10%） | 2.14 | 3.7 | 2.5 | 2.79 | 1.07 | 1.27 | 1.03 | 1.69 | 0.60 |
| 線圈電感 (μH, ±10%) | 52 | 109 | 94 | 180 | 173 | 176 | 350 | 1030 | 530 |
| 反 EMF 電壓 (μV/°/sec, ±10%) | 20.9 | 48.7 | 66 | 108 | 229 | 195 | 346 | 1220 | 1480 |
| 最大RMS 電流(A、電機(jī)外殼50°） | 2.3 | 2.4 | 4.1 | 3.9 | 7.1 | 5.8 | 8.2 | 7.1 | 12 |
| 峰值電流(A,最大) | 6 | 8 | 20 | 20 | 25 | 25 | 25 | 20 | 40 |
| 小角度階躍響應(yīng) | 3mmY 鏡片 | 3mmY 鏡片 | 3mmY 鏡片 | 5mmY 鏡片 | 10mm Y 鏡片 | 10mm Y 鏡片 | 15mm Y 鏡片 | 50mmY 鏡片 | 50mmY 鏡片 |
| 130μs | 100μs | 130μs | 200μs | 250μs | 250μs | 350μs | 3.0ms | 2.1ms | |
| 重量（克） | 13.3 | 18 | 25.8 | 42.5 | 267 | 142 | 356 | 590 | 1200 |
| 線性度 | 超過 20°時(shí)最小為 99.9%；超過 40°時(shí)通常為 99.5% |
| 比例漂移 | 50 ppm/°C（最大） |
| 零點(diǎn)漂移 | 15 μrad/°C（最大） |
| 重復(fù)精度（短期） | 8 μrad |
| 輸出信號(hào)（常規(guī)模式） | 最小 155 μA、AGC 電流為 30 mA |
| 輸出信號(hào)（差分模式） | 12 μA/°C (±2.5%)、常規(guī)模式的電流為 155 μA |
| 輸出信號(hào)（常規(guī)模式與差分模式之比） | 12.5 (±2.5%) |
83xxK系列電機(jī)基于62xxH系列的速度及可靠性，同時(shí)具有更高的分辨率和熱穩(wěn)定性，適用于高要求及高精度的應(yīng)用。各機(jī)型均采用一流的動(dòng)磁式激勵(lì)技術(shù)與進(jìn)一步改進(jìn)了的Cambridge Technology獨(dú)有的增強(qiáng)型位置探測(cè)器。83xxK系列產(chǎn)品漂移小、噪音低，適用于微加工類的高精度需求及穩(wěn)定性要求高的大幅面加工應(yīng)用。
可達(dá)到最高級(jí)別的掃描精度、速度及穩(wěn)定性：
業(yè)內(nèi)速度最快的電機(jī)，更好的分辨率及穩(wěn)定性
一流的精度保證高質(zhì)量的加工效果
強(qiáng)大可靠的設(shè)計(jì)保證長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性及使用壽命
緊湊的封裝方式易于在小空間內(nèi)集成
選擇范圍廣泛的鏡片（3-50mm）和鍍膜類型
| 產(chǎn)品型號(hào) | 8300K | 8310K | 8315K | 8320K | 8330K | 8331K | 8340K | 8350K | 8360K |
| 入射光直徑 (mm) | 3 - 7 | 3 - 7 | 3 - 7 | 5 - 10 | 8 - 15 | 8 - 15 | 12 - 25 | 25 - 75 | 30-100 |
| 激光波長(zhǎng) | 355/532nm /1030 - 1080 nm / 9.4 - 10.6 μm ；寬帶鍍膜： 350 nm – 12 μm | ||||||||
| 最大掃描角度（°） | 40° | 40° | 40° | 40° | 40° | 40° | 40° | 40° | 40° |
| 轉(zhuǎn)動(dòng)慣量 (gm·cm2, ±10%) | 0.013 | 0.018 | 0.028 | 0.125 | 0.97 | 0.82 | 2.4 | 15.6 | 47.5 |
| 扭矩常數(shù)(dyne·cm /amp, ±10%) | 12000 | 27900 | 37800 | 61700 | 131000 | 111000 | 200000 | 708000 | 850000 |
| 最高轉(zhuǎn)子溫度 (°C) | 110° | 110° | 110° | 110° | 110° | 110° | 110° | 110° | 110° |
| 熱阻 (轉(zhuǎn)子至機(jī)箱,°C/W ，最大) | 3.8 | 2.0 | 1.0 | 1.0 | 0.8 | 1.0 | 0.62 | 0.35 | 0.2 |
| 線圈電阻 （Ω，±10%） | 2.14 | 3.7 | 2.5 | 2.79 | 1.07 | 1.27 | 1.03 | 1.69 | 0.60 |
| 線圈電感 (μH, ±10%) | 52 | 109 | 94 | 180 | 173 | 176 | 350 | 1030 | 530 |
| 反EMF電壓 (μV/°/sec, ±10%) | 20.9 | 48.7 | 66 | 108 | 229 | 195 | 346 | 1220 | 1480 |
| 最大RMS電流(A、外殼溫度50°） | 2.3 | 2.4 | 4.1 | 3.9 | 7.1 | 5.8 | 8.2 | 7.1 | 12 |
| 峰值電流 （A、最大） | 6 | 8 | 20 | 20 | 25 | 25 | 25 | 20 | 40 |
| 小角度階躍響應(yīng) | 3 mmY鏡片 | 3 mmY鏡片 | 3mmY鏡片 | 5mmY鏡片 | 10mmY鏡片 | 10mmY鏡片 | 15mmY鏡片 | 50mmY鏡片 | 50mmY鏡片 |
| 130μs | 100μs | 130μs | 200μs | 250μs | 250μs | 350μs | 3.0ms | 2.1ms | |
| 重量（克、常規(guī)） | 13.3 | 18 | 25.8 | 42.5 | 267 | 142 | 356 | 590 | 1200 |
位置探測(cè)器技術(shù)參數(shù)：
| 線性度 | 超過 20°時(shí)最小為 99.9%，超過 40°通常為 99.5% |
| 比例漂移 | 15 ppm/°C（最大） |
| 零點(diǎn)漂移 | 5 μrad/°C（最大） |
| 重復(fù)精度（短期） | 8 μrad |
| 輸出信號(hào)（常規(guī)模式） | 最小 283 μA、AGC 電流為 60 mA |
| 輸出信號(hào)（差分模式） | 22.6 μA/° (±2.5%)、常規(guī)模式的電流為 283 μA |
| 輸出信號(hào)（常規(guī)模式與差分模式之比） | 12.5 (±2.5%) |
| 型號(hào) | 6450 |
| 機(jī)械參數(shù) | |
| 入射光束直徑 | 12mm |
| 最大掃描角度（光學(xué)角） | 40 |
| 轉(zhuǎn)動(dòng)慣量 | 2.3gm*cm2, +/ - 10% |
| 轉(zhuǎn)矩系數(shù) | 45000dyne-cm/amp, +/ - 10% |
| 最大線圈溫度 | 150oC |
| 最大線圈對(duì)殼體熱阻抗 | 5oC/Watt, Max |
| 電氣參數(shù) | |
| 線圈阻抗 | 4Ohms, +/- 10% |
| 線圈電感 | 450μH, +/- 10% |
| 反向電動(dòng)勢(shì) | 800mV/度/秒, +/- 10% |
| RMS電流 | 1.8A, Max |
| 峰值電流 | 6A, Max |
| 小步長(zhǎng)階躍響應(yīng)時(shí)間 | 2.0ms |
| 位置探測(cè)器參數(shù) | |
| 線性度 | 99.9Min |
| 比例漂移 | 50PPM/oC, Max |
| 最大零點(diǎn)漂移 | 15μrad/o C, Max |
| 重復(fù)精度 | 2mrad |
| 輸出信號(hào)（普通模式） | 970μA |
| 輸出信號(hào)（微分模式） | 21.5μA/o |
| 驅(qū)動(dòng)卡 | 67045 |
| 型號(hào) | 6870 | 6880 | |
| 機(jī)械參數(shù) | |||
| 入射光束直徑 | 12, 15 | 20, 30 | mm |
| 最大掃描角度（光學(xué)角） | 40 | 40 | o |
| 轉(zhuǎn)動(dòng)慣量 | 2.0 | 6.4 | gm*cm2, +/ - 10% |
| 轉(zhuǎn)矩系數(shù) | 1.8X105 | 2.54x105 | dyne-cm/amp, +/ - 10% |
| 最大線圈溫度 | 110 | 110 | oC |
| 最大線圈對(duì)殼體熱阻抗 | 1.0 | 0.75 | oC/Watt, Max |
| 電氣參數(shù) | |||
| 線圈阻抗 | 1.4 | 1.0 | Ohms, +/- 10% |
| 線圈電感 | 275 | 280 | μH, +/- 10% |
| 反向電動(dòng)勢(shì) | 0.3 | 0.44 | mV/度/秒, +/- 10% |
| 峰值電流 | 25 | 25 | A, Max |
| 小步長(zhǎng)階躍響應(yīng)時(shí)間 | 0.7 | 0.9 | ms |
| 位置探測(cè)器參數(shù) | |||
| 線性度 | 99.99 | 99.9 | Min |
| 比例漂移 | 50 | 50 | PPM/oC, Max |
| 最大零點(diǎn)漂移 | 15 | 10 | μrad/o C, Max |
| 重復(fù)精度 | 8 | 8 | mrad |
| 輸出信號(hào)（普通模式） | 585 | 970 | μA |
| 輸出信號(hào)（微分模式） | 14.5 | 22 | μA/o |
振鏡驅(qū)動(dòng)卡分為兩類：模擬驅(qū)動(dòng)卡和數(shù)字驅(qū)動(dòng)卡。模擬卡有670、671、672、673和677系列，數(shù)字卡有DC900、DC2000和DC3000系列。
模擬卡
我們的 PID 伺服驅(qū)動(dòng)器性能優(yōu)異、功能齊全，可提供緊湊型、雙軸型和大功率型配置方案。兼顧精度和驅(qū)動(dòng)功率，我們的驅(qū)動(dòng)器解決方案適用于各種要求高速、高重復(fù)精度、高線性度和高穩(wěn)定性的高端應(yīng)用。集尺寸、性能和靈活性于一身的模擬驅(qū)動(dòng)器，是客戶集成掃描系統(tǒng)的理想選擇，驅(qū)動(dòng)功率強(qiáng)大、尺寸緊湊，為您創(chuàng)造卓越的性能值。
專為穩(wěn)定和高帶寬控制而設(shè)計(jì)，可確保產(chǎn)能最大化；
產(chǎn)品尺寸緊湊，可在復(fù)雜系統(tǒng)中靈活、方便的集成；
內(nèi)嵌保護(hù)電路，可在評(píng)估和操作工程中保證高可靠性；
包含振鏡位置、誤差和速度信號(hào)輸出引腳；
配合 Cambridge Technology 掃描振鏡產(chǎn)品可達(dá)到全面優(yōu)化的性能
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 671 系列 | 672 系列 | 673 系列 |
| 軸數(shù) | 單軸 | 單軸 | 雙軸 |
| 輸出級(jí) | 差分 | 單端 | 差分 |
| 模擬輸入阻抗 | 200K+/-1%歐姆（差分）100K+/-1%歐姆（單端 ） | 200K+/-1%歐姆（差分）100K+/-1%歐姆（單端） | 200K+/-1%歐姆（差分）100K+/-1%歐姆（單端） |
| 模擬輸出阻抗 | 1K+/-1%歐姆（用于所有其它的觀測(cè)輸出引腳） | 1K+/-1%歐姆（用于所有其它的觀測(cè)輸出引腳） | 2K+/-1%歐姆（用于“位置輸出”和“電流監(jiān)控”的觀測(cè)引腳）4.75K+/-1%歐姆（用于所有其他的觀測(cè)引腳） |
| 位置輸入比例系數(shù) | 0.5V/deg. （2deg./V），可使用其它配置 | 0.5V/deg. （40° 系統(tǒng)），0.67V/deg. （30° 系統(tǒng)） | 0.5V/deg. （2deg./V），可使用其它配置 |
| 位置輸入電壓范圍 | +/-10V（最大） | +/-10V（最大） | +/-10V（最大） |
| 位置偏差范圍 | 輸入范圍的 +/-5%（常規(guī)） | 輸入范圍的 +/-5%（常規(guī)） | 輸入范圍的 +/-5%（常規(guī)） |
| 數(shù)字位置輸入范圍 | 216 dac 計(jì)數(shù) | 不適用 | 不適用 |
| 16 位數(shù)字輸入的非線性誤差 | 全比例的 0.006%（最大） | 不適用 | 不適用 |
| 位置輸出比例系數(shù) | 0.5V/deg. | 0.5V/deg. | 0.5V/deg. |
| 誤差輸出比例系數(shù) | 0.5V/deg. | 0.5V/deg. | 不適用 |
| 速度輸出比例系數(shù) | 模擬輸出（以位置微分器的增益為比例） | 模擬輸出（以位置微分器的增益為比例） | 模擬輸出（以位置微分器的增益為比例） |
| 故障輸出 | 開路集電極：輸出阻抗為 1K 歐姆（下拉至 -15V），下沉容量為 10mA | TTL 輸出的上拉供電電壓可達(dá) +5V，電阻為 100k。高電平 = 2.5V、低電平 = 0V | CMOS 輸出、串聯(lián)為 4.75k 歐姆高電平 = 11.5V、低電平 = .05V |
| 電子設(shè)備的溫度穩(wěn)定性 | 20 ppm / °C | 20 ppm / °C | 20 ppm / °C |
| 電源要求 | +/-15至+/-28VDC配置 | +/-15至+/-28VDC配置 | +/-15至+/-28VDC配置 |
| 最大驅(qū)動(dòng)電流限值 | 10 A（峰值）15 A (rms)（取決于電源和負(fù)載） | 10 A（峰值）5 A (rms)（取決于電源和負(fù)載） | 10 A（峰值）5 A (rms)（取決于電源和負(fù)載） |
| 操作溫度范圍 | 0 - 50°C | 0 - 50°C | 0 - 50°C |
| 尺寸（板件和散熱器支架；近似值，cm） | 10.16 cm x 6.68 cm x 2.69 cm | 5.40 cm x 6.03 cm x 2.69 cm | 10.03 cm x 7.75 cm x 3.07 cm |
數(shù)字卡
我們的數(shù)字伺服驅(qū)動(dòng)器具有自動(dòng)校準(zhǔn)、狀態(tài)空間控制，以及命令輸入優(yōu)化功能，適用于要求達(dá)到最高速度和精度的掃描應(yīng)用。該數(shù)字驅(qū)動(dòng)器采用專利型技術(shù)，即借助板載處理器，在每次開機(jī)時(shí)都會(huì)對(duì)掃描組件重新配置，將系統(tǒng)的性能、靈活性和易用性發(fā)揮到極致。結(jié)構(gòu)緊湊的 DC 型伺服驅(qū)動(dòng)具有靈活的電源配置、完整的安裝硬件和小型的連接器，更易于集成。
濾波仿真算法，可現(xiàn)運(yùn)動(dòng)控制的最優(yōu)化；
自調(diào)試和啟動(dòng)校正功能，可降低系統(tǒng)制造成本；
便捷化的工作范圍服務(wù)，降低運(yùn)營(yíng)減少維護(hù)時(shí)間和增加系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間
伺服驅(qū)動(dòng)尺寸緊湊、封裝靈活，易于集成到復(fù)雜系統(tǒng)中；
配置 Cambridge Technology 掃描產(chǎn)品，可達(dá)到最優(yōu)的掃描性能
| 產(chǎn)品規(guī)格 | DC900 型 | DC2000 型 | DC3000 Plus 型（小噪音） |
| 軸數(shù) | 單軸 | 雙軸 | 雙軸 |
| 命令輸入 | 模擬（±5V 差分、±10V 單端） XY2-100 高速數(shù)字系列 | XY2-100 高速數(shù)字系列 | XY2-100 高速數(shù)字系列 |
| 模擬輸入阻抗 | 400K+/-1%歐姆（差分）200K+/-1%歐姆（單端） | — | — |
| 模擬輸出阻抗 | 1K+/-1%歐姆（用于所有觀測(cè)輸出引腳） | OPA2227 無端接輸出，<1Ω | OPA2227 無端接輸出，<1Ω |
| 位置輸入比例系數(shù) | 0.50V/deg.(40°系統(tǒng))0.67V/deg.(30°系統(tǒng))1.00V/deg.(20°系統(tǒng)) | — | — |
| 模擬位置 輸入范圍 | +/-10V | — | — |
| 位置輸出比例系數(shù) | 0.50V/deg. | 0.333V/deg.（非差分） | 0.333V/deg.（非差分） |
| 電源要求 | +/-15至+/-32VDC 配置 | +/-15至+/-32VDC 配置 | +/-15至+/-28VDC 配置 |
| 最大驅(qū)動(dòng)電流限值 | 8A（峰值），5A（RMS）（基于電源和負(fù)載） | 10A（峰值），2.5A（RMS）（基于電源和負(fù)載） | 20（峰值），5（RMS）（基于電源和負(fù)載） |
| 靜態(tài)功率 | 15W | 16W | 11.5W |
| 顫振 (RMS) | 8 μrad | 7 μrad | 4 μrad |
| 操作溫度范圍 | 0 - 50°C | 0 - 50°C | 0 - 50°C |
| 尺寸 | 5.14 x10.48 x4.45 cm | 10.50 x7.50 x6.44 cm | 10.50 x7.50 x6.44 cm |
振鏡系統(tǒng)是一種由驅(qū)動(dòng)板與高速擺動(dòng)電機(jī)組成的一個(gè)高精度、高速度伺服控制系統(tǒng)，主要用于激光打標(biāo)、激光內(nèi)雕、舞臺(tái)燈光控制等。
該系統(tǒng)的工作原理是：輸入一個(gè)位置信號(hào)，擺動(dòng)電機(jī)（振鏡）就會(huì)按一定電壓與角度的轉(zhuǎn)換比例擺動(dòng)一定角度。整個(gè)過程采用閉環(huán)反饋控制，由位置傳感器、誤差放大器、功率放大器、位置區(qū)分器、電流積分器等五大控制電路共同作用。
本公司生產(chǎn)的OSST系列振鏡系統(tǒng)，由于運(yùn)用最新一代集成電路，驅(qū)動(dòng)電路板采取多種抗干擾手段，系統(tǒng)不僅抗干擾能力強(qiáng)、可靠性高、線性度好、重復(fù)精度高、響應(yīng)時(shí)間短，而且體積小，便于安裝運(yùn)輸。
| 型號(hào) | OSST8162 | OSST8161 | OSST8063 |
| 帶載鏡片 | ≤8mm光斑 | ≤10mm光斑 | ≤12mm光斑 |
| 小步長(zhǎng)階躍響應(yīng)時(shí)間 | 5mm光斑鏡片時(shí)0.2ms | 10mm光斑鏡片時(shí)0.3ms | 12mm光斑鏡片時(shí)0.6ms |
| 最大掃描機(jī)械角 | ±20°-30 ° | ±20° | ±20° |
| 線性度 | 99.9%，范圍±20° | 99.9%，范圍±20° | 99.9%，范圍±20° |
| 平均工作電流 | 0.9A | 0.9A | 1.5A |
| 峰值電流 | 5A | 5A | 10A |
| 線圈電阻 | 3Ω±10%供參考 | 1.8Ω±10%供參考 | 2Ω±10%供參考 |
| 線圈電感 | 180μH ±10%供參考 | 280μH ±10%供參考 | 260μH ±10%供參考 |
| 工作溫度 | 0℃-40℃ | 0℃-40℃ | 0℃-40℃ |
| 定制工作溫度（可選） | -40—﹢85 | -40—﹢85 | -40—﹢85 |
| 振鏡重量 | 80g | 105g | 180g |
| 轉(zhuǎn)子慣量 | 0.125g·cm2 | 0.34g·cm2 | 1.2g·cm2 |
| 轉(zhuǎn)矩常量 | 5.1N·mm/A | 7.3N·mm/A | 12 N·mm/A |
| 最大有效電流 | 2.1A | 2.5 5A | 3.52A |
| 帶電纜重量 | 72g | 263 g | 340g |
| 接頭 | C3030F-2*4 | C3030F-2*4 | C3030F-2*4 |
| 負(fù)載慣量 | 0.1 g·cm2—0.54 g·cm2 | 0.3 g·cm2—1.52 g·cm2 | 1.0 g·cm2—6 g·cm2 |
| 跟隨誤差 | 0.11 ms | 0.142ms | 0.22 ms |
| 振鏡外形尺寸 | D15x31+D15.4x11mm | D22X36+D31x8.6+D21x9mm | D22x36+D31x8.6+D21x9mm |
| 安裝鏡片厚度 | 2.1mm | 2.1mm | 2.1mm |
| 用途 | 舞臺(tái)燈光、激光動(dòng)畫 | 超高速飛行打標(biāo)，超高速在線飛速打標(biāo) | 金屬、非金屬精密激光打標(biāo)、激光快速成型、激光調(diào)阻和激光雷達(dá)等 |
| 型號(hào) | OSST8166 | OSST8168 | OSST8061 |
| 帶載鏡片 | 1-6mm光斑 | 1-10mm 光斑 | 20-25mm光斑 |
| 小步長(zhǎng)階躍響應(yīng)時(shí)間 | 5mm光斑鏡片時(shí)0.3ms | 5mm 光斑鏡片時(shí) 0.3ms | 20mm光斑鏡片時(shí)0.7ms |
| 最大掃描機(jī)械角 | ±20° | ±20° | ±20° |
| 線性度 | 99.9%，范圍 ±20° | 99.9%，范圍±20° | 99.9%，范圍 ±20° |
| 平均工作電流 | 0.6A | 0.6A | 2A |
| 峰值電流 | 1.5A | 1.5A | 6A |
| 線圈電阻 | 2.3Ω±10%供參考 | 2.3Ω±10%供參考 | 2.1Ω±10%供參考 |
| 線圈電感 | 420μH ±10%供參考 | 420μH ±10%共參考 | 360μH ±10%供參考 |
| 工作溫度 | 0℃-40℃ | 0℃-40℃ | 0℃-40℃ |
| 定制工作溫度（可選） | -40—﹢85 | -40—﹢85 | -40—﹢85 |
| 振鏡重量 | 26g | 26g | 210g |
| 轉(zhuǎn)子慣量 | 0.028g·cm | 2.25N·mm/A | 5.1g·cm2 |
| 轉(zhuǎn)矩常量 | 2.25N·mm/A | 2.25N·mm/A | 22N·mm/A |
| 最大有效電流 | 1.8A | 1.8A | 5A |
| 帶電纜重量 | 49 g | 425 g | |
| 接頭 | C3030F-2*4 | PHD2*4 | C3030F-2*4 |
| 負(fù)載慣量 | 0.02 g·cm2—0.05 g·cm2 | 0.02 g·cm2—0.05 g·cm2 | 8 g·cm2—24 g·cm2 |
| 跟隨誤差 | 0.11 ms | 0.15 ms | 0.35 ms |
| 振鏡外形尺寸 | D10x16+D13x3+D15x10.5mm | D15X8+D14x15 | D28x58+D36x15+D25x5mm |
| 安裝鏡片厚度 | 1.0mm | 1.mm | 3.0mm |
| 用途 | 高速在線飛行打標(biāo)、高速高精密靜態(tài)打標(biāo)等 | 高速在線飛行打標(biāo)、高速高精密靜態(tài)打標(biāo)等 | 精密激光打標(biāo)、激光快速成型、激光調(diào)阻和激光雷達(dá)等 |
| 型號(hào) | OSST3808 | OSST3860 |
| 帶載鏡片 | 25-50mm光斑 | 30-60mm光斑 |
| 小步長(zhǎng)階躍響應(yīng)時(shí)間 | 25mm光斑鏡片時(shí)1.2ms | 30mm光斑鏡片時(shí)1.3ms |
| 最大掃描機(jī)械角 | ±20° | ±20° |
| 線性度 | 99.9%，范圍±20° | 99.9%，范圍±20° |
| 平均工作電流 | 2.2A | 3.2A |
| 峰值電流 | 7.6A | 9.6A |
| 線圈電阻 | 2Ω±10%供參考 | 2Ω±10%供參考 |
| 線圈電感 | 260μH ±10%供參考 | 260μH ±10%供參考 |
| 工作溫度 | 0℃-40℃ | 0℃-40℃ |
| 定制工作溫度（可選） | -40—﹢85 | -40—﹢85 |
| 振鏡重量 | 520g | 520g |
| 轉(zhuǎn)子慣量 | 6.25g·cm2 | 8.2g·cm2 |
| 轉(zhuǎn)矩常量 | 28N·mm/A | 31·mm/A |
| 最大有效電流 | 6.3 A | 12A |
| 帶電纜重量 | 520G | 520G |
| 接頭 | C3030F-2*4 | C3030F-2*4 |
| 負(fù)載慣量 | 12g·cm2—24 g·cm2 | 12g·cm2—35 g·cm2 |
| 跟隨誤差 | 0.28 ms | 0.35 ms |
| 振鏡外形尺寸 | D38X76+D36x5+D25x5mm | D38x76+D35x5+D25x5mm |
| 安裝鏡片厚度 | 輸出軸直徑7mm | 7mm |
| 用途 | 精密激光打標(biāo)、激光快速成型、激光調(diào)阻和激光雷達(dá)等 | 精密激光打標(biāo)、激光快速成型、激光調(diào)阻和激光雷達(dá)等 |
| 型號(hào) | OSST1520-20 | OSST1520-15 |
| 帶載鏡片 | ￡10mm光斑 | ￡10mm光斑 |
| 小步長(zhǎng)階躍響應(yīng)時(shí)間 | 10mm光斑鏡片時(shí)0.3ms | 10mm光斑鏡片時(shí)0.3ms |
| 最大掃描機(jī)械角 | ±20° | ±20° |
| 線性度 | 99.9%，范圍±20° | 99.9%，范圍±20° |
| 平均工作電流 | 0.9A | 0.9A |
| 峰值電流 | 5A | 5A |
| 線圈電阻 | 1.8Ω±10%供參考 | 1.8Ω±10%供參考 |
| 線圈電感 | 280μH ±10%供參考 | 280μH ±10%供參考 |
| 工作溫度 | 0℃-40℃ | 0℃-40℃ |
| 定制工作溫度（可選） | -40—﹢85 | -40—﹢85 |
| 振鏡重量 | 105g | 105g |
| 轉(zhuǎn)子慣量 | 0.34g·cm2 | 0.34g·cm2 |
| 轉(zhuǎn)矩常量 | 7.5N·mm/A | 7.5N·mm/A |
| 最大有效電流 | 2.5 A | 2.5 A |
| 帶電纜重量 | 263 g | 263 g |
| 接頭 | PHD2*4 | PHD2*4 |
| 負(fù)載慣量 | 0.35 g·cm2—1.5 g·cm2 | 0.35 g·cm2—1.5 g·cm2 |
| 跟隨誤差 | 0.15 ms | 0.15 ms |
| 振鏡外形尺寸 | D20X28+D15x6mm/37mm | D15X26+D15x8mm/37mm |
| 安裝鏡片厚度 | 2.0mm | 2.0mm |
| 用途 | 超高速飛行打標(biāo)，超高速在線飛速打標(biāo) | 超高速飛行打標(biāo)，超高速在線飛速打標(biāo) |
掃描鏡為很輕的鍍膜全反鏡，在入射角±25度時(shí)依然保持高達(dá)99.7%或以上的反射特性，因此可以承受200W或以上的激光功率。鏡片尺寸和形狀經(jīng)過科學(xué)的設(shè)計(jì)和大量的使用，表明質(zhì)量可靠，特別適合激光二維掃描系統(tǒng)中，如激光打標(biāo)和舞臺(tái)燈光系統(tǒng)。
型號(hào)命名規(guī)則：SMxxxx-xxA-LxWxT-Dx-BB
SM：激光掃描鏡
xxxx：激光波長(zhǎng)：1064nm, 532nm或10.6um
xx：入射光最大直徑（mm）
A：X鏡或Y鏡
LxWxT：鏡片尺寸，長(zhǎng)x寬x厚度,單位mm
Dx：已安裝鏡夾的掃描鏡，x為鏡夾的孔直徑，單位mm
BB：小系列編號(hào)，如SJ系列、WT系列等。
例子：SM1064-12X-21x16.8x2-D5-SJ，SJ系列1064nm波長(zhǎng)已安裝X掃描鏡，鏡夾孔直徑5mm，鏡片尺寸21x16.8x2mm，鍍高反介質(zhì)膜。
| 入射光最大直徑 | 掃描鏡型號(hào) | 尺寸(LxWxT,mm) | 備注 |
| 8 | SM10.6-8X-18x13x1.5-SJ | 18x13x1.5 | 硅片鍍金 |
| 8 | SM10.6-8Y-23.2x16x1.5-SJ | 23.2x16x1.5 | 硅片鍍金 |
| 8 | SM10.6-8X-18x13x1.9-SJ | 18x13x1.9 | 硅片鍍金 |
| 8 | SM10.6-8Y-23.2x16x1.9-SJ | 23.2x16x1.9 | 硅片鍍金 |
| 10 | SM10.6-10X-18x14.5x2-SJ | 18x14.5x2 | 硅片鍍金 |
| 10 | SM10.6-10Y-24x16x2-SJ | 24x16x2 | 硅片鍍金 |
| 10 | SM10.6-10X-20.3x13.7x1.5-WT | 20.3x13.7x1.5 | 硅片鍍金 |
| 10 | SM10.6-10Y-24.4x17.8x1.5-WT | 24.4x17.8x1.5 | 硅片鍍金 |
| 10 | SM10.6-10X-18x14x2-LK | 18x14x2 | 硅片鍍金 |
| 10 | SM10.6-10Y-24x16x2-LK | 24x16x2 | 硅片鍍金 |
| 12 | SM10.6-12X-21x16.8x2-SJ | 21x16.8x2 | 硅片鍍金 |
| 12 | SM10.6-12Y-30x19x2-SJ | 30x19x2 | 硅片鍍金 |
| 12 | SM10.6-12X-21x16x2-WT | 21x16x2 | 硅片鍍金 |
| 12 | SM10.6-12Y-32x19x2-WT | 32x19x2 | 硅片鍍金 |
| 12 | SM10.6-12X-20x16x2-LK | 20x16x2 | 硅片鍍金 |
| 12 | SM10.6-12Y-30x19x2-LK | 30x19x2 | 硅片鍍金 |
| 15 | SM10.6-15X-27x19x2-SJ | 27x19x2 | 硅片鍍金 |
| 15 | SM10.6-15Y-37x22x2-SJ | 37x22x2 | 硅片鍍金 |
| 16 | SM10.6-16X-28x20x2-SJ | 28x20x2 | 硅片鍍金 |
| 16 | SM10.6-16Y-39x23x2-SJ | 39x23x2 | 硅片鍍金 |
| 16 | SM10.6-16X-27x21-2.5-LK | 27x21-2.5 | 硅片鍍金 |
| 16 | SM10.6-16Y-38x24x2.5-LK | 38x24x2.5 | 硅片鍍金 |
| 20 | SM10.6-20X-37x24x2-SJ | 37x24x2 | 硅片鍍金 |
| 20 | SM10.6-20Y-49x31x2-SJ | 49x31x2 | 硅片鍍金 |
| 25 | SM10.6-25X-46x30x3-SJ | 46x30x3 | 硅片鍍金 |
| 25 | SM10.6-25Y-56.4x39x3-SJ | 56.4x39x3 | 硅片鍍金 |
| 入射光最大直徑 | 掃描鏡型號(hào) | 尺寸(LxWxT,mm) |
| 7 | SM1064-7X-12X10X1-SJ | 12X10X1 |
| 7 | SM1064-7Y-17X10X1-SJ | 17X10X1 |
| 8 | SM1064-8X-18x13x1.5-SJ | 18x13x1.5 |
| 8 | SM1064-8Y-22x15x1.5-SJ | 23.2x16x1.5 |
| 8 | SM1064-8X-18x13x1.9-SJ | 18x13x1.9 |
| 8 | SM1064-8Y-22x15x1.9-SJ | 23.2x16x1.9 |
| 10 | SM1064-10X-20x15x2-SJ | 20x15x2 |
| 10 | SM1064-10Y-27.5x17x2-SJ | 27.5x17x2 |
| 10 | SM1064-10X-20.3x13.7x1.5-WT | 20.3x13.7x1.5 |
| 10 | SM1064-10Y-24.4x17.8x1.5-WT | 24.4x17.8x1.5 |
| 10 | SM1064-10X-18x14x2-LK | 18x14x2 |
| 10 | SM1064-10Y-24x16x2-LK | 24x16x2 |
| 12 | SM1064-12X-21x16.8x2-S | 21x16.8x2 |
| 12 | SM1064-12Y-30x19x2-SJ | 30x19x2 |
| 12 | SM1064-12X-21x16x2-WT | 21x16x2 |
| 12 | SM1064-12Y-32x19x2-WT | 32x19x2 |
| 12 | SM1064-12X-20x16x2-LK | 20x16x2 |
| 12 | SM1064-12Y-30x19x2-LK | 30x19x2 |
| 15 | SM1064-15X-27x19x2-SJ | 27x19x2 |
| 15 | SM1064-15Y-37x22x2-SJ | 37x22x2 |
| 16 | SM1064-16X-28x20x2-SJ | 28x20x2 |
| 16 | SM1064-16Y-39x23x2-SJ | 39x23x2 |
| 16 | SM1064-16X-27x21-2.5-LK | 27x21-2.5 |
| 16 | SM1064-16Y-38x24x2.5-LK | 38x24x2.5 |
| 20 | SM1064-20X-37x24x2-SJ | 37x24x2 |
| 20 | SM1064-20Y-49x31x2-SJ | 49x31x2 |
| 25 | SM1064-25X-46x30x3-SJ | 46x30x3 |
| 25 | SM1064-25Y-56.4x39x3-SJ | 56.4x39x3 |
備注：光學(xué)玻璃，鍍高反介質(zhì)模，1064nm反射率大于99.5%，同時(shí)633nm反射率大于80%。
| 入射光最大直徑 | 掃描鏡型號(hào) | 尺寸(LxWxT,mm) |
| 12 | SM532-12X-21x16.8x2-SJ | 21x16.8x2 |
| 12 | SM532-12Y-30x19x2-SJ | 30x19x2 |
| 12 | SM532-12X-21x16x2-WT | 21x16x2 |
| 12 | SM532-12Y-32x19x2-WT | 32x19x2 |
| 15 | SM532-15X-27x19x2-SJ | 27x19x2 |
| 15 | SM532-15Y-37x22x2-SJ | 37x22x2 |
| 16 | SM532-16X-28x20x2-SJ | 28x20x2 |
| 16 | SM532-16Y-39x23x2-SJ | 39x23x2 |
| 20 | SM532-20X-37x24x2-SJ | 37x24x2 |
| 20 | SM532-20Y-49x31x2-SJ | 49x31x2 |
| 25 | SM532-25X-46x30x3-SJ | 46x30x3 |
| 25 | SM532-25Y-56.4x39x3-SJ | 56.4x39x3 |
備注：光學(xué)玻璃，鍍高反介質(zhì)模，532nm反射率大于99.5%。
| 入射光最大直徑 | 掃描鏡型號(hào) | 尺寸(LxWxT,mm) |
| 10 | SMV-10X-20.3x13.7x1.5-WT | 20.3x13.7x1.5 |
| 10 | SMV-10Y-24.4x17.8x1.5-WT | 24.4x17.8x1.5 |
| 12 | SMV-12X-21x16x2-WT | 21x16x2 |
| 12 | SMV-12Y-32x19x2-WT | 32x19x2 |
備注：光學(xué)玻璃，鍍保護(hù)銀膜
