我們提供兩軸激光掃描振鏡/打標頭，適用于各種不同的應用。兩軸掃描振鏡可以在X和Y方向上偏轉激光束，產生一個二維區域，引導激光射向其中的任何位置。這個區域被稱為打標范圍，如圖中所示。偏轉是由兩塊鏡片執行，其中每塊由振鏡電機移動。掃描振鏡有一個光束輸入端  ，激光束從此端輸入，還有一個光束輸出端，激光束偏轉后從此端射出。

兩軸掃描打標頭主要產品表

STRL-RL-III系列掃描振鏡

• 堅固、緊湊和輕便

• 基于最新伺服電子技術的低噪聲和低漂移

• 非常快的打標速度

• 優異的性價比

• 輸入孔徑: 10mm、14mm

優勢：新的RL-III有非常高的打標和定位速度并且有高性價比。由于其低噪聲和漂移值及其堅固性，使得該系統非常適合在工業生產環境中使用。

可選配置：透鏡、保護玻璃適用于多種標準激光器種類，波長1064 nm和10600 nm，功率密度，焦距和加工區域。這使得多種加工任務得以獲得高質量和優化產量。我們也樂于幫助您選擇適合您應用的最優化配置。

典型應用：針對動態打標任務，特別是飛行打標。由于新開發的具有強大的PWM輸出級的控制，速度和動態響應得到了保證。

創新和品質：創新與保持產品的高品質是我們的首要目標。我們所有的產品是在自己的實驗室和生產車間研發,制造和測試的。通過我們的全球支持網絡，能夠為客戶提供最好的維護與快速支持服務。

通用技術參數

• 電源：電壓+/-15  V 至 +/-18 V；電流2 A, RMS最大 10 A；紋波/噪音最大 200  mVpp,@ 20 MHz 帶寬

• 環境溫度：+15°C 至 +35°C

• 儲存溫度：-10°C 至 +60°C

• 濕度：≤ 80 % 無結露

• 外殼防護等級：IP  54

• 接口信號：數字XY2-100  協議

• 典型光學偏轉角：±  0.393 rad

• 分辨率：  XY2-100 16-Bit 12 μrad

• 重復定位精度  (RMS)： < 2.0 μrad

• 溫度漂移：最大增益漂 1 15 ppm/K；最大位置漂移 1 10 μrad/K

• 8h長期漂移 1 < 150 μrad

備注：1 = 光學角。每軸的漂移，30分鐘預熱后，環境溫度和加工負荷穩定。

10mm通光口徑掃描振鏡的技術參數

• 掃描振鏡：RL-III-10

• 輸入孔徑 (mm)：10

• 光束位移 (mm)：12.4

• 重量（無透鏡）(kg)：大約 0.9

• 尺寸 (L x W  x H) (mm)：100.0 x 77.0 x 83

• 適用激光波長：1064  (nm) SI；10600 (nm) SI

• 打標調校 (MA)：針對打標應用的優化調校

• 字高/好打標質量下的打標速度  (cps) 1, 2：650 / 850

• 打標速度 (rad/s)：30

• 定位速度 (rad/s)3：85

• 追跡誤差 (ms) 4  ：0.14

• 1%全行程階躍響應時間 (ms)  5：0.40

備注：1.  F-Theta透鏡F = 163 mm/幅面尺寸120 mm  x 120 mm。 2. 1 mm高的單線字。3. 速度計算：幅面速度 = F-Theta透鏡焦距 × 定位速度。4. 計算加速時間約為2.3 × 追跡誤差。5 設置為全行程的1/5000。

14mm通光口徑掃描振鏡的技術參數

• 掃描振鏡：STRL-RL-III-14

• 輸入孔徑 (mm)：14

• 光束位移 (mm)：17.0

• 重量 (無透鏡) (kg)：約 2.0

• 尺寸 (L x W  x H) (mm)：134.0 x 98.0 x 100.3

• 適合激光波長：1064nm硅鏡，10600nm硅鏡

• 打標調校 (MA)：針對打標應用的優化調校

• 字高/一般字符質量的打標速度  (cps) 1, 2：500 / 650

• 加工速度 (rad/s)：30

• 定位速度 (rad/s)  3：60

• 追跡誤差 (ms) 4：0.18

• 1%全行程階躍響應時間 (ms)  5：0.45

備注：1..用F-Theta透鏡 f = 163 mm / 幅面尺寸 120 mm x 120 mm 2. 1 mm高的單線字。3. 速度計算：幅面速度 = F-Theta透鏡焦距 × 定位速度。4. 計算加速時間約為1.9 × 追跡誤差。5. 穩定于全行程的1/1000。

STRL-MiniScann II掃描振鏡

• 漂移極低

• 緊湊設計

• 堅固、防塵、適用于工業環境

• 對外界溫度不敏感

• 可選輸入孔徑 7、10、14、20mm

優勢：新一代 MINISCAN II 設計緊湊，溫度漂移經過特別優化，降低 50%。完全防塵設計的外殼使 MINISCAN II 特別適合于惡劣工業環境下工作。

創新與品質：在RAYLASE, 創新與保持產品的高品質水準是我們的首要目標。我們所有的產品是在自己的實驗室和生產車間研發,制造和測試的。通過我們的全球支持網絡，能夠為客戶提供最好的維護與快速支持服務。

反射鏡與物鏡：反射鏡和擁有優化鏡座的物鏡適用于幾乎所有的典型激光器、波長、功率密度、焦距和工作幅面。也可以按照客戶特殊要求定制。

接口：振鏡兼容 XY2-100 標準。可以通過如 SP-ICE-1 PCI PRO 控制卡進行數字控制，或通過模擬電壓 / 電流接口進行模擬控制。

典型應用：材料加工，如打標、鉆孔、切割、焊接、硬化、成型。

選項：可提供相機適配器用于加工監控。

• 電源：電壓：±15至±18V；電流：2 A, RMS,最大  10 A；紋波/噪音：20 MHz 帶寬時最大200 mVpp

• 接口信號：模擬：±5  V, ±10 V；數字：XY2-100 協議

• 環境溫度：+15 °C 至 +35 °C

• 存儲溫度：-10 °C 至 +60 °C

• 濕度：≤ 80 % 無結露

• 典型偏轉角(光學)：±0,393 rad

• 分辨率：12  μrad

• 重復定位精度(RMS)：2 μrad

• 最大增益漂移1：15 ppm/K

• 最大位置漂移1：10 μrad/K

• 長期漂移1,2：<150 μrad

備注：1 每軸的漂移。 2  預熱之后，環境溫度的波動 <1K。

備注：1. F-Theta透鏡 f=163mm/幅面 120x120 mm。 2. 高 1  mm 單線字。

STRL-MiniScann III掃描振鏡

• 通過SL2-100 20bit協議或XY2-100 16bit協議控制

• 數字控制、低噪音和低漂移

• 堅固，防塵，適用于工業環境

• 多種鏡片基材和鍍膜，特別是針對打標和激光清洗

• 可選輸入孔徑:  10mm、14mm和20mm

優勢:新的MINISCAN III提供非常穩定的數字控制，進一步改善噪音和漂移值，從而使系統更加可靠和穩定。XY2-100 16位和SL2-100 20位協議可以與數字接口一起使用。相應的線纜定義使用的協議。

可選配置:透鏡，保護窗以及反射鏡材質和鍍膜適用于所有常見的激光器種類，波長，功率密度，焦距和工作幅面。這使多種加工應用得以獲得最優化質量和加工效率。我們樂于為您提供最適合您應用的定制化配置。我們也樂于幫助您選擇適合您應用的最優化配置。

典型應用:適合大部分應用，尤其針對高速燒蝕、表面清洗以及高要求的打標任務。數字控制和強大的pwm輸出級保證了速度和動態響應。您還可以選擇將MINISCAN III與我們的相機適配器和機器視覺控制組件結合起來進行過程監控。

創新與品質:創新與保持產品的高品質是我們的首要目標。我們所有的產品是在自己的實驗室和生產車間研發,制造和測試的。通過我們的全球支持網絡，能夠為客戶提供最好的維護與快速支持服務。

通用技術參數

• 電源：電壓：+30 或 +48V；電流：2A, RMS；最大  5A

• 紋波/噪音：最大 200mVpp@ 20MHz 帶寬

• 環境溫度：+15°C 至 +35°C

• 儲存溫度：-10°C 至 +60°C

• 濕度：≤80% 無結露

• 外殼防護等級：IP  64

• 接口信號：數字XY2-100  增強協議；SL2-100 協議

• 典型偏轉角：  0.393 rad

• 分辨率：XY2-100  16-Bit 12 μrad

• 分辨率：SL2-100  20-Bit 0.76 μrad

• 重復定位精度  (RMS)：< 2.0 μrad

• 定位噪聲 (RMS)：< 4.5 μrad

• 溫度漂移：最大增益漂移1 15 ppm/K；最大位置漂移1 10 μrad/K

• 8h長期漂移1 <  80μrad

備注：1 光學角。每軸的漂移，30分鐘預熱后，環境溫度和加工負荷穩定。

10mm通光孔徑的技術參數

備注：1. 用F-Theta透鏡 f = 163 mm / 幅面尺寸 120 mm x 120 mm。 2. 1 mm高的單線字。 3. 參考“速度計算”。4. 計算加速時間約為1.8 × 追跡誤差。5. 設置為全行程的1/1,000。 6. 適合的激光波/355、532、1064、1070和10600nm。7. QU=石英,  SC=碳化硅, SI=硅。8. 調校分為快速向量調校(VC) （針對常見應用進行的優化調校，注重加工速度）、打標調校 (MA) （針對打標應用的優化調校）、清洗調校 (C) （針對長矢量在最高速掃描時的優化調校）三種。9. 速度計算：幅面速度 = F-Theta透鏡焦距 × 定位速度。

14mm通光孔徑的技術參數

備注：1. F-Theta透鏡f=163mm/幅面120 mm x 120 mm。 2. 1 mm 單線字。 3. 參考“速度計算” 4. 計算加速時間約為2.3 × 追跡誤差。5. 計算加速時間約為1.9 × 追跡誤差。 6. 計算加速時間約為2.0 × 追跡誤差。 7. 設置為全行程的1/5,000。 8. 設置為全行程的1/1000。9. 適合的激光波長355、532、1064和1070nm。

20mm通光孔徑的技術參數

備注：1. 參考“速度計算”。 2. 加速時間約為2.3× 追跡誤差。3.  設置為全行程的1/5000。4. 適合激光波長1,064nm、900–1100 nm+AL、10600nm、515-540nm、1060-1090  nm+AL。

STRL-SS-IIE系列掃描振鏡

• 雙層殼式設計，極低漂移

• 適合高功率應用

• 可選配水冷和空氣冷卻

• “增強“ 選項改善50%的長期漂移

• 可選輸入孔徑: 7、10、12、15、20、30mm

優勢：創新的熱管理和模塊化設計使SUPERSCAN IIE成為滿足苛刻激光加工要求的極佳選擇。“增強”選項可以提高50%的長期穩定性。還能夠通過額外水冷進一步減小長期漂移。

反射鏡與物鏡：反射鏡和擁有優化鏡座的物鏡適用于幾乎所有的典型激光器、波長、功率密度、焦距和工作幅面。也可以按照客戶特殊要求定制。

接口：振鏡兼容XY2-100標準。可以通過如SP-ICE-1 PCIe PRO控制卡進行數字控制。

典型應用：材料處理如刻蝕、打標、去除、切割、焊接、打孔或高速飛行打標。水冷版本特別適合要求非常精細、極低誤差的應用，例如微加工、鉆孔、ITO成型或銀漿刻蝕。

創新與品質：創新與保持產品的高品質水準是我們的首要目標。我們所有的產品是在自己的實驗室和生產車間研發,制造和測試的。通過我們的全球支持網絡，能夠為客戶提供最好的維護與快速支持服務。

通用技術參數：

• 電源：電壓± 15  V 至 ± 18 V；電流3 A, RMS, 最大 10 A；紋波/噪音最大 200  mVpp,@ 20 MHz 帶寬

• 接口信號：數字XY2-100  協議

• 環境溫度：+15°C 至 +35°C

• 存儲溫度：-10°C 至 +60°C

• 濕度：≤ 80 % 無結露

• 溫度漂移：最大增益漂移 1 < 15 ppm/K；最大位置漂移 1 < 10 μrad/K

• 典型偏轉角(光學)： ± 0.393 rad

• 光學分辨率：12 μrad

• 重復定位精度(RMS)： 2 μrad

• 8小時長期漂移 1, 2 ：< 150  μrad

• 8小時長期漂移，有水冷 1, 3 ：< 100  μrad

• 定位噪聲(RMS)： < 10 μrad

備注：1. 每軸的漂移。 2. 30分鐘預熱后，環境溫度和加工負荷穩定。 3. 30分鐘預熱后，保持冷卻水≥2 l/min流量和22?C水溫時加工負荷變化。

備注：1. 熔石英反射鏡的規格。 2. 僅配合AXIALSCAN使用，搭配帶保護窗的輸出板。

STR-SuperScan IV掃描振鏡

• 通過20位SL2-100協議或16位XY2-100協議控制

• 得益于數字PWM輸出級大幅降低了功耗和熱能產生

• 快速動態響應和高速度促進生產效率

• 多種調試模式和鏡片鍍膜，適用于各種應用

• 適合輸入孔徑:10、15、20和30mm

優勢:模組化數字控制技術提供了極強的動態響應和速度，在打標以及非常快速但是精準的成型、切割和鉆孔等應用中真正發揮作用。堅固耐用的水冷外殼設計保證了即使在頻繁改變光束方向和高跳轉的情況下，也能保持穩定、低漂移的運行。堅固的水冷外殼設計，搭配石英反射鏡，能夠承受激光功率高達2kW（15mm通光孔徑）、3kW（20mm通光孔徑）、3kW（30mm通光孔徑）。

可配置選項: 透鏡、保護窗以及反射鏡材質和鍍膜適用于所有常見的激光器種類、波長、功率密度、焦距和工作幅面。這使多種加工應用得以獲得最優化質量和加工效率。我們也樂于幫助您選擇適合您應用的最優化配置。

典型應用:應用范圍包括打碼、FPC結構切割以及銅箔的切割鉆孔。由于采用了數字控制和強大的PWM輸出級，速度和動態響應得到了保證。當與我們的相機適配器和MVC組件相結合時，就成為了理想的過程精密監控工具。

創新與品質:創新與保持產品的高品質水準是我們的首要目標。我們所有的產品是在自己的實驗室和生產車間研發,制造和測試的。通過我們的全球支持網絡，能夠為客戶提供最好的維護與快速支持服務。

通用技術參數

• 電源：電壓：+30 或 +48V；電流：2A, RMS；最大  5A

• 紋波/噪音：最大 200mVpp@ 20MHz 帶寬

• 環境溫度：+15°C 至 +35°C

• 儲存溫度：-10°C 至 +60°C

• 濕度：≤80% 無結露

• 外殼防護等級：IP  64

• 接口信號：數字XY2-100  增強協議；SL2-100 協議

• 典型偏轉角：  0.393 rad

• 分辨率：XY2-100  16-Bit 12 μrad

• 分辨率：SL2-100  20-Bit 0.76 μrad

• 重復定位精度  (RMS)：< 2.0 μrad

• 定位噪聲 (RMS)：< 4.5 μrad

• 溫度漂移：最大增益漂移1 15 ppm/K；最大位置漂移1 10 μrad/K

• 8小時長期漂移，無水冷 1 < 60 μrad

• 8小時長期漂移，有水冷 1, 2 < 40 μrad

備注：1. 光學角。每軸的漂移，30分鐘預熱后，環境溫度和加工負荷穩定。2. 30分鐘預熱后，保持冷卻水≥ 2 l/min流量和22?C水溫時加工負荷變化。3.  適合激光波長355、532和1064nm。

10mm通光孔徑的技術參數

• 掃描振鏡：STRL-SUPERSCAN  IV

• 輸入孔徑(mm)：10

• 光束位移(mm)：12.5(SI)

• 重量(無透鏡)(kg)：約3.2

• 尺寸(LxWxH)(mm)：170.0 x 125.0 x 117.5

備注：1. 參考“速度計算”。2. 穩定于全行程的1/5,000。 3. 計算加速時間約為1.9  × 追跡誤差。4. 計算加速時間約為1.8 × 追跡誤差。

15mm通光孔徑的技術參數

• 掃描振鏡：STRL-SUPERSCAN  IV

• 輸入孔徑(mm)：15

• 光束位移(mm)：18.1(QU，SI)，19.0（SC）

• 重量(無透鏡)(kg)：約3.2

• 尺寸(LxWxH)(mm)：170.0 x 125.0 x 117.5

備注：1. 參考“速度計算”。 2. 設置為全行程的1/5,000。  3. 計算加速時間約為1.9 × 追跡誤差。 4. 計算加速時間約為2.3 × 追跡誤差。5. 調校分為快速向量調校 (VC) （針對常見應用進行的優化調校，注重加工速度、清洗調校 (C) （針對長矢量在最高速掃描時的優化調校）、填充調校 (H) （針對填充，進行高精度光束偏轉和最快的光束變向的優化調校）等三種。6. 適合波長355 nm QU、532 nm QU, SI、1,030 nm SC、1,064 nm QU, SI, SC、1,060 nm–1,080 nm (高功率鍍膜) QU、10,600 nm SI, SC。這里QU=石英、SC=碳化硅、SI=硅等指反射鏡片材料。

20mm通光孔徑的技術參數

• 掃描振鏡：STRL-SUPERSCAN  IV-20 QU

• 輸入孔徑(mm)：20

• 光束位移(mm)：25

• 重量(無透鏡)(kg)：約5.5

• 尺寸(LxWxH)(mm)：203x159x150

備注：1. 參考“幅面內速度計算”。 2. 計算加速時間約為1.7 × 追跡誤差。 3. 穩定于全行程的1/5,000。4.  適合激光波長355/532和1064nm。

30mm通光孔徑的技術參數

• 掃描振鏡：SUPERSCAN  IV

• 輸入孔徑 (mm)： 30

• 光束位移 (mm)： 36.0 (SI, SC), 35.4 (QU)

• 重量(無透鏡) (kg) ：約 5.5

• 不銹鋼外殼 (kg)：  約 12.0

• 尺寸 (L x W  x H) (mm)： 203.0 x 159.0 x 150.0

備注：1. 參考“幅面內速度計算”。 2. 計算加速時間約為1.8 × 追跡誤差。 3. 設置為全行程的1/5,000。4.  反射鏡適用激光波長420 nm–480 nm QU、900  nm–1100 nm + AL QU, SC、1064 nm SI, SC, QU、1020 nm–1040 nm (高功率鍍膜 > 3 kW) QU、1060 nm–1080 nm (高功率鍍膜 > 3 kW) QU、10600 nm SI, SC。5. 調校分為快速向量調校 (VC) （針對常見應用進行的優化調校，注重加工速度）、快速向量調校 (FV) （結合高動態性能和高速的優化調校）兩種。

STR-SuperScan V掃描振鏡

• 激光束定位分辨率高達20bit，SL2-100協議

• 數字編碼器技術帶來的最小化溫漂和極低噪聲

• 極佳的加速和精確的激光引導帶來銳利的邊角效果

• 可記錄和診斷全部特性

• 輸入孔徑 (mm):  15、30

全數字反饋控制，快速且精確

優勢：全數字反饋控制電路提供了極佳的動態性能，并且可以連續監測如反射鏡位置和速度等參數。取決于使用的協議(SL2-100或XY2-100)，反射鏡能夠以至多20bits的分辨率進行定位。得益于數字電機的高加速特性和最高速度，能夠非常快而精準的實現銳利邊緣圖形的掃描。

可配置選項：透鏡,輕質碳化硅以及石英反射鏡適用于所有常見的激光器種類,波長,功率等級,焦距和工作幅面。電子控制系統也支持額外的控制參數設置(調校選項)。我們樂于為您提供最適合您應用的優化配置。

典型應用：該掃描振鏡是各種要求最高精度的高端激光加工應用的理想選擇。通過反射鏡的數字反饋控制定位持續保證精度。特別是如標記,焊接,鉆孔或半導體晶圓成型,醫療產品和安保文檔,芯片IC卡等激光加工應用均受益于SUPERSCAN  V的速度和精度。SUPERSCAN V-30配合我們的數字Z軸LT模組LT-II組成的AXIALSCAN-30，特別適用于增材制造領域。

創新與品質：創新與保持產品的高品質水準是我們的首要目標。我們所有的產品是在自己的實驗室和生產車間研發,制造和測試的。通過我們的全球支持網絡，能夠為客戶提供最好的維護與快速支持服務。

通用技術參數

• 電源：電壓：+30 或 +48V；電流：2A, RMS；最大  5A

• 紋波/噪音：最大 200mVpp@ 20MHz 帶寬

• 環境溫度：+15°C 至 +35°C

• 儲存溫度：-10°C 至 +60°C

• 濕度：≤80% 無結露

• 外殼防護等級：IP  64

• 接口信號：數字XY2-100  增強協議；SL2-100 協議

• 典型偏轉角：  0.393 rad

• 分辨率：XY2-100  16-Bit 12 μrad

• 分辨率：SL2-100  20-Bit 0.76 μrad

• 重復定位精度  (RMS)：< 0.4μrad

• 定位噪聲 (RMS)：< 2.0μrad

• 溫度漂移：最大增益漂移1 8 ppm/K；最大位置漂移1 15 μrad/K

• 8小時長期漂移，無水冷 1 < 50 μrad

• 8小時長期漂移，有水冷 1, 2 < 30 μrad

備注：1. 光學角。每軸的漂移，30分鐘預熱后，環境溫度和加工負荷穩定。2. 30分鐘預熱后，保持冷卻水≥ 2 l/min流量和22?C水溫時加工負荷變化。

15mm通光口徑的STRL-SuperScan  V掃描振鏡

• 掃描振鏡SUPERSCAN  V

• 輸入孔徑 (mm)  15

• 光束位移 (mm)  18.27 (SC), 18.33 (QU)

• 重量(不帶透鏡) (kg) 約 3.2

• 尺寸 (L x W  x H) (mm) 170.0 x 125.0 x 117.5

• 反射鏡激光波長：355  nm SC, QU、405 nm QU、532 nm SC,  QU、1064 nm SC, QU、10600 nm SC、AG SC。

• 微加工調校：針對實現銳利拐角的高精度光束偏轉和最小化追跡誤差優化

備注: 1.  F-Theta透鏡 f=163mm / 幅面 120mm × 120mm，高 1mm 單線字。 2.  參考”幅面內速度計算”。 3. 設為全行程的 1/5000

30mm通光口徑的STRL-SuperScan V掃描振鏡

• 掃描振鏡SUPERSCAN  V

• 輸入孔徑 (mm)：30

• 光束位移 (mm)：35.7

• 重量(不帶透鏡) (kg)： 約5.5

• 尺寸 (L x W  x H) (mm)：203x159x150

• 反射鏡激光波長：  1064 nm SC、10600 nm SC。

• 微加工調校 (M):  針對具有銳利拐角和最小追跡誤差的高精度光束偏轉進行的優化調校

動態參數：

• 掃描振鏡：STRL-SUPERSCAN  V-30-SC

• 反射鏡類型：SC

• 調校：微加工

• 加工速度 (rad/s)  1：25 @ 30 V；30 @ 48 V

• 定位速度 (rad/s)  1：25 @ 30 V；30 @ 48 V

• 追跡誤差 (ms) 2: 0.25

• 1%全行程階躍響應時間 (ms)  3 :0.66

備注：1 參考“速度計算”。 2. 計算加速時間約為1.7 × 追跡誤差。 3. 設為全行程的1/5000。