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新特光電集團(tuán)

激光器

飛秒激光器,皮秒激光器,光纖激光器,半導(dǎo)體激光器,半導(dǎo)體泵浦激光器,CO2激光器
高能量短脈沖納秒激光器

高能量短脈沖納秒激光器

時(shí)間:2021-10-12 類別:激光器 關(guān)注:1548
適用于工業(yè)和科學(xué)應(yīng)用的可靠,穩(wěn)定的脈沖Nd:YAG激光器在1064nm處提供高達(dá)1.5J的脈沖輸出,重復(fù)頻率高達(dá)100Hz。我們提供購(gòu)買帶有第二(532nm),第三(355nm),第四(266nm)和第五(213nm)諧波的內(nèi)置或外部發(fā)生器的脈沖Nd:YAG激光器。
產(chǎn)品經(jīng)理
熱線:181-6269-8939
QQ: 1651816816
微信:XTGD518
即刻詢價(jià)

SLQ115緊湊風(fēng)冷Nd:YAG激光器

SLQ115是一款非常緊湊的風(fēng)冷Nd:YAG激光器,適用于結(jié)構(gòu)緊湊和對(duì)激光器要求不高的應(yīng)用中。

SLQ115使用創(chuàng)新的高效散熱器,可以在脈沖重頻3Hz時(shí)連續(xù)工作,間隔使用時(shí)重頻可到5Hz,這個(gè)工作模式通常只有在水冷的激光器上才能實(shí)現(xiàn)。SLQ115輸出基頻脈沖能量最高90mJ,可以進(jìn)一步將紅外輻射轉(zhuǎn)化為二次諧波、三次諧波、四次諧波。所有諧波發(fā)生器均為內(nèi)置,并且溫度穩(wěn)定,這個(gè)特性與堅(jiān)固的激光頭設(shè)計(jì)一起,保證了輸出輻射的長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性,可與標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)驗(yàn)室激光器媲美。與大部分緊湊激光器使用DKDP普克爾盒不同,SLQ115使用LiNbO3電光Q開關(guān)。這種Q開關(guān)不易潮解,可在寬溫度范圍內(nèi)保持參數(shù)穩(wěn)定,保證了激光器穩(wěn)定工作。防塵激光頭設(shè)計(jì),可以不打開激光器上蓋的情況下調(diào)整其主要的光學(xué)部件,增加激光器在現(xiàn)場(chǎng)工作壽命。SLQ115激光器使用英國(guó)公司長(zhǎng)壽命閃光燈,減少了例行維護(hù)時(shí)間,另外,閃光燈更換非常簡(jiǎn)單。

SLQ115緊湊風(fēng)冷Nd:YAG激光器

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 無(wú)需水冷

  • 設(shè)計(jì)緊湊和堅(jiān)固

  • 極佳的光束質(zhì)量

  • 連續(xù)工作模式

  • 內(nèi)置諧波發(fā)生器

  • Turn-key工作模式

  • 遠(yuǎn)程控制

產(chǎn)品應(yīng)用:

  • 便攜式LIBS、測(cè)距儀等OEM應(yīng)用

  • 教學(xué)

  • 染料激光器泵浦

  • 藍(lán)寶石激光器和OPO泵浦

  • 光譜學(xué)

  • 激光刻蝕

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

  • 無(wú)需水冷

  • 激光頭和電源體積小

  • 有助于激光器集成到其他可移動(dòng)設(shè)備

  • 增加設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)的技術(shù)可靠性

  • 降低工作成本

性能參數(shù)

型號(hào)SLQ115SLQ115SLQ115SLQ115
激光波長(zhǎng)1064nm532nm355nm266nm
重頻(Hz)123123123123
輸出能量1064 nm909075909075909075909075
532 nm——454030353022454030
355 nm————202015——————
266 nm——————————654
能量穩(wěn)定性33.54.533.54.533.54.533.54.5
脈寬5…9
光斑直徑(mm)≤ 4.5
發(fā)散角(mrad)≤ 3
抖動(dòng)(ns)≤ 3.5
功耗≤ 200
尺寸 mm激光頭410 x 125 x 130
電源320 x 370 x 150

SLQ215緊湊Nd:YAG激光器

SLQ215激光器,以針對(duì)航天工業(yè)研發(fā)的一款激光器為基礎(chǔ),同時(shí)具有高級(jí)科研需求極佳的光斑質(zhì)量和工業(yè)設(shè)備需求的高穩(wěn)定性。

創(chuàng)新和可靠的光學(xué)設(shè)計(jì)保證了像散和熱致光學(xué)畸變補(bǔ)償,使得激光器具有最高的質(zhì)量。激光光學(xué)設(shè)計(jì)的另外一個(gè)特性,是所有部件的工作負(fù)載遠(yuǎn)低于可容許值,這種工作模式不僅增加了部件的壽命,還保證了整個(gè)激光器獨(dú)特的工作穩(wěn)定性,因此,SLQ215可以使用多年無(wú)需維護(hù)。所有的光學(xué)部件安裝在堅(jiān)固的底板上,通過(guò)特殊開發(fā)的減震器與外殼固定在一起,因此,機(jī)械振動(dòng)和外殼應(yīng)力,不會(huì)影響腔內(nèi)對(duì)齊的質(zhì)量。激光器所有關(guān)鍵部件都是熱穩(wěn)定的,與防震設(shè)計(jì)一起,保證了長(zhǎng)時(shí)間輸出輻射卓越的穩(wěn)定性。高效的溫度控制器使預(yù)熱時(shí)間小于10分鐘。SLQ215使用的閃光燈壽命超過(guò)5000萬(wàn)次脈沖,減少例行維護(hù)時(shí)間,并且易于更換。更換閃光燈不需要打開激光器上蓋,這種技術(shù)方案避免光學(xué)部件污染,增加設(shè)備工作穩(wěn)定性。閉環(huán)水冷系統(tǒng)集成到緊湊的單項(xiàng)激光電源中,電源可通過(guò)PC或遠(yuǎn)程控制器控制。

SLQ215緊湊Nd:YAG激光器

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 極佳光束質(zhì)量

  • 內(nèi)置諧波發(fā)生器最高213nm

  • 防塵防水設(shè)計(jì)

  • 可靠的工業(yè)設(shè)備

  • 緊湊單項(xiàng)供電

  • 不需要外部冷卻水

產(chǎn)品應(yīng)用:

  • 藍(lán)寶石激光器和OPO泵浦

  • 染料激光器泵浦

  • 光譜學(xué)

  • 激光雷達(dá)

  • 激光誘導(dǎo)熒光(LIF)

  • 激光誘導(dǎo)擊穿光譜(LIBS)

  • 教學(xué)

  • 粒子圖像測(cè)速

  • 測(cè)距

  • 激光消融

  • 激光標(biāo)刻

  • TFT-LCD修復(fù)

  • 平板顯示生產(chǎn)

性能參數(shù)

型號(hào)SLQ215SLQ215SLQ215SLQ215SLQ215
激光波長(zhǎng)1064nm532nm355nm266nm213nm
重頻(Hz)10201020102010201020
輸出能量(mJ)1064nm180180180180180
532nm——1008010080
355nm高功率版本————6060——6060
355nm————5045——5045
266nm——————35——
213nm高功率版本————————86
213 nm————————65
能量穩(wěn)定性<±2.5%
脈寬6…10ns
光斑直徑≤ 5mm
發(fā)散角≤ 1.5mrad
抖動(dòng)≤ 1.5ns
功耗≤ 500W
冷卻系統(tǒng)水冷
尺寸(mm)激光頭455 x 165 x 140
電源620 x 330 x 670

SLQ215-D雙脈沖緊湊Nd:YAG激光器

SLQ215-D激光器,根據(jù)為航天工業(yè)研發(fā)的一款激光器為基礎(chǔ),結(jié)合高級(jí)科研需求極佳的光斑質(zhì)量和工業(yè)設(shè)備需求的高穩(wěn)定性為一體。

常規(guī)激光器產(chǎn)生雙脈沖,一般使用兩個(gè)激光器合束,或者一個(gè)激活介質(zhì)在一次閃光燈釋放脈沖時(shí)產(chǎn)生連續(xù)納秒脈沖。第一種方法激光器具有最大功能,但是價(jià)格高、尺寸較大。第二種方法低成本、緊湊系統(tǒng),但是會(huì)減小每個(gè)脈沖能量,光斑輪廓不好,穩(wěn)定性低,限制了脈沖間延遲范圍。LQ215-D設(shè)計(jì)具有以上兩種方法的優(yōu)點(diǎn),消除了缺點(diǎn):兩個(gè)分立的腔中Nd:YAG棒使用同一個(gè)閃光燈泵浦。兩個(gè)腔都集成到一個(gè)普通激光頭中,通過(guò)一個(gè)普通電源控制,具有最小的尺寸,控制雙脈沖參數(shù)更容易。

創(chuàng)新和可靠的光學(xué)設(shè)計(jì)保證了像散和熱致光學(xué)畸變補(bǔ)償,使得激光器具有最高的質(zhì)量。激光光學(xué)設(shè)計(jì)的另外一個(gè)特性,是所有部件的工作負(fù)載遠(yuǎn)低于可容許值。這種工作模式不僅增加了部件的壽命,還保證了整個(gè)激光器獨(dú)特的工作穩(wěn)定性。因此,SLQ215-D可以使用多年無(wú)需維護(hù)。所有的激光光學(xué)部件安裝在堅(jiān)固的底板上,并通過(guò)特殊開發(fā)的減震器與外殼固定。因此,機(jī)械振動(dòng)和外殼應(yīng)力,不會(huì)影響腔內(nèi)對(duì)齊的質(zhì)量。激光器所有關(guān)鍵部件都是熱穩(wěn)定的,與防震設(shè)計(jì)一起,保證了卓越的長(zhǎng)時(shí)間輸出輻射穩(wěn)定性。高效的溫度控制器使預(yù)熱時(shí)間小于10分鐘。為了減小例行維護(hù)時(shí)間,SLQ215使用的閃光燈壽命超過(guò)5000萬(wàn)次脈沖,易于更換。更換閃光燈不需要打開激光器上蓋,這種技術(shù)方案避免光學(xué)部件的污染,增加了設(shè)備工作穩(wěn)定性。閉環(huán)水冷系統(tǒng)集成到緊湊的單項(xiàng)激光電源中,電源可通過(guò)PC或遠(yuǎn)程控制單元控制。

雙脈沖緊湊Nd:YAG激光器

產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 極佳的光束質(zhì)量

  • 1064nm或532nm輸出波長(zhǎng)

  • 光斑指向穩(wěn)定

  • 防塵防水設(shè)計(jì)

  • 可靠的工業(yè)設(shè)備

  • 緊湊單項(xiàng)電源供電

  • 無(wú)需外部水冷

產(chǎn)品應(yīng)用:

  • 粒子圖像測(cè)速

  • 湍流研究

  • 渦流分析

  • 噴霧分析

  • 燃燒研究

  • 激光誘導(dǎo)熒光(LIF)

  • LIBS

  • 教學(xué)

  • 測(cè)距

  • 鈦寶石激光器和OPO泵浦

  • 染料激光器泵浦

  • 光譜學(xué)

  • 激光雷達(dá)

性能參數(shù)

型號(hào)SLQ215-D
最大重頻1-20Hz(固定重頻)
脈沖能量1064 nm100mJ
532nm50 mJ
脈寬6…10ns
脈沖間可調(diào)延遲0…80μs
脈沖間可調(diào)延遲步長(zhǎng)1 μs
光斑直徑≤ 5mm
發(fā)散角≤ 1.5mrad
能量穩(wěn)定性< ±2.5%
指向穩(wěn)定性0.1mrad
抖動(dòng)< 1ns
功耗≤ 500W
冷卻系統(tǒng)閉環(huán)水冷
尺寸mm激光頭534 x 190 x 135
電源620 x 330 x 670

SLQ529緊湊脈沖Nd:YAG激光器

SLQ529系列是緊湊燈泵Nd:YAG激光器,具有高輸出功率、超常的光束質(zhì)量、最小的激光頭和電源尺寸。SLQ529系列激光器基于環(huán)形腔,泵浦室具有陶瓷漫反射鏡。與傳統(tǒng)的線性腔不同,SLQ529的技術(shù)方案,可以產(chǎn)生均勻的近平頂激光光束輪廓,輸出能量和空間輻射參數(shù)具有超常的穩(wěn)定性。光束指向穩(wěn)定性垂直面高于20urad,水平面高于80urad。激光器所有關(guān)鍵部件都是熱穩(wěn)定的,與防震設(shè)計(jì)一起,保證了卓越的長(zhǎng)時(shí)間輸出輻射穩(wěn)定性。高效的溫度控制器使預(yù)熱時(shí)間小于10分鐘。為了減小例行維護(hù)時(shí)間,SLQ529使用的閃光燈壽命超過(guò)5千萬(wàn)次脈沖,易于更換。更換閃光燈不需要打開激光器上蓋,這種技術(shù)方案避免了光學(xué)部件的污染,增加了設(shè)備工作穩(wěn)定性。閉環(huán)水冷系統(tǒng)集成到緊湊的單項(xiàng)激光電源中,電源可通過(guò)PC或遠(yuǎn)程控制器控制。

緊湊脈沖Nd:YAG激光器

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 高重頻

  • 高脈沖能量0.5J

  • 極佳的光束質(zhì)量

  • 諧波可獲得213nm

  • 緊湊單項(xiàng)電源供電

  • 無(wú)需外部水冷

產(chǎn)品應(yīng)用:

  • 藍(lán)寶石激光器和OPO泵浦

  • 染料激光器泵浦

  • 光譜學(xué)

  • 激光雷達(dá)

  • 激光誘導(dǎo)熒光(LIF)

  • LIBS

  • TFT-LCD修復(fù)

  • 平板顯示生產(chǎn)

  • 教學(xué)

  • 粒子圖像測(cè)速

  • 測(cè)距

  • 激光消融

  • 激光標(biāo)刻

  • 激光清洗

  • 激光微加工

  • 激光鉆孔

性能參數(shù):

型號(hào)SLQ529ASLQ529ASLQ529ASLQ529ASLQ529A
激光波長(zhǎng)1064nm532nm355nm266nm213nm
重頻Hz510510510510510
輸出能量mJ1064 nm500500500500500
532nm——280225280225
355 nm高功率————130130——130130
355 nm高功率————110100——110100
266nm——————8570——
213nm高功率————————2520
213————————2015
光斑直徑mm≤8
功耗W≤600
型號(hào)SLQ529BSLQ529BSLQ529BSLQ529BSLQ529B
激光波長(zhǎng)1064nm532nm355nm266nm213nm
重頻Hz10201020102010201020
輸出能量mJ1064nm350350350350350
532nm——190140190140
355nm高功率————100100——100100
355nm————9080——9080
266nm——————6040——
213nm高功率版本————————1815
213nm————————1512
光斑直徑mm≤6
功耗W≤800
型號(hào)SLQ529CSLQ529CSLQ529CSLQ529CSLQ529C
激光波長(zhǎng)1064nm532nm355nm266nm213nm
重頻Hz50
輸出能量mJ1064 nm150150150150150
532 nm——80658065
355 nm————40——40
266 nm——————20——
213 nm————————4,5
光斑直徑mm≤5
功耗W≤1000
型號(hào)所有型號(hào)
能量穩(wěn)定性< 2.5±%
脈寬10…13 ns
發(fā)散角≤1.5mrad
抖動(dòng)≤1ns
冷卻水冷
尺寸mm激光頭615 x 180 x 120
電源620 x 330 x 670

SLQ629系列100Hz Nd:YAG激光器

SLQ629激光器具有高激光脈沖能量、高重頻、極佳的光束質(zhì)量的特性。主振蕩器的激活介質(zhì)和放大器安裝在同一個(gè)泵浦腔內(nèi),使用同一個(gè)閃光燈泵浦。主振蕩器基于久經(jīng)考驗(yàn)的環(huán)形腔設(shè)計(jì),保證了極佳的光束質(zhì)量,同時(shí)經(jīng)典的單程放大器具有光學(xué)補(bǔ)償熱致光學(xué)畸變。SLQ629的技術(shù)方案,使得SLQ629具有緊湊、可靠、運(yùn)行成本低等優(yōu)點(diǎn)。激光器所有關(guān)鍵部件都是熱穩(wěn)定的,與防震設(shè)計(jì)一起,保證了卓越的長(zhǎng)時(shí)間輸出輻射穩(wěn)定性。高效的溫度控制器使預(yù)熱時(shí)間小于10分鐘。為了減小例行維護(hù)時(shí)間,SLQ629使用的閃光燈壽命超過(guò)5千萬(wàn)次脈沖,易于更換。更換閃光燈不需要打開激光器上蓋,這種技術(shù)方案避免了光學(xué)部件的污染,增加了設(shè)備工作穩(wěn)定性。閉環(huán)水冷系統(tǒng)集成到緊湊的單項(xiàng)激光電源中,電源可通過(guò)PC或遠(yuǎn)程控制單元控制。

100Hz Nd:YAG激光器

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 高重頻

  • 高脈沖能量

  • 極佳的光斑質(zhì)量

  • 所有諧波最高到213nm

  • 緊湊單項(xiàng)電源供電

  • 無(wú)需外部水冷

產(chǎn)品應(yīng)用

  • 藍(lán)寶石激光器和OPO泵浦

  • 染料激光器泵浦

  • 光譜學(xué)

  • 激光雷達(dá)

  • 激光誘導(dǎo)熒光(LIF)

  • LIBS

  • 平板顯示生產(chǎn)

  • 教學(xué)

  • 粒子圖像測(cè)速

  • 測(cè)距

  • 激光消融

  • 激光標(biāo)刻

  • 激光清洗

  • 激光微加工

  • 激光鉆孔

  • TFT-LCD修復(fù)

性能參數(shù)

型號(hào)SLQ629SLQ629SLQ629SLQ629SLQ629
波長(zhǎng)1064nm532nm355nm266nm213nm
輸出能量mJ1064nm200200200200200
532nm——90809080
355nm————50——50
266nm——————15——
213nm————————5.5
重頻Hz100
光斑直徑mm≤ 5
能量穩(wěn)定性±1.5%
脈寬ns9…12
發(fā)散角mrad≤ 1.5
抖動(dòng)ns± 1.5
功耗W≤ 2000
冷卻系統(tǒng)水冷
尺寸mm激光頭740 x 180 x 125
電源620 x 330 x 670

SLQ830高功率窄線寬Nd:YAG脈沖激光器

SLQ830是新型閃光燈泵浦Nd:YAG激光器,具有獨(dú)特的激光輻射特性:線寬小于0.1cm-1,發(fā)散角小于0.25mrad,脈沖能量最高700mJ@1064nm。

主振蕩器有高穩(wěn)定環(huán)形腔,預(yù)放大和高功率放大器產(chǎn)生TEM00衍射受限光束,高脈沖能量,遠(yuǎn)場(chǎng)高斯光斑輪廓。高光譜輻射亮度,線寬不高于10pm,使用內(nèi)腔F-P干涉儀,使得高相干長(zhǎng)度大于10cm。

激光器所有關(guān)鍵部件都是熱穩(wěn)定的,與防震設(shè)計(jì)一起,保證了卓越的輸出輻射長(zhǎng)期穩(wěn)定性。SLQ830使用的高效恒溫器可以使預(yù)熱時(shí)間小于10分鐘。減少例行保養(yǎng)的時(shí)間,SLQ830閃光燈壽命長(zhǎng)達(dá)3千萬(wàn)次脈沖,更換過(guò)程容易和快速。閉環(huán)水冷系統(tǒng)集成到緊湊單項(xiàng)激光供電單元中,可以在PC端遠(yuǎn)程控制。

SLQ830高功率窄線寬Nd:YAG脈沖激光器

產(chǎn)品特點(diǎn):

  • TEM00,M2< 2

  • 振蕩器+放大器配置

  • 脈沖能量最高0.7J

  • 發(fā)散角0.25 mrad

  • 可見和紫外范圍高功率輸出

  • 諧波輸出最短213nm

  • 緊湊單項(xiàng)供電

  • 無(wú)需外部水冷

產(chǎn)品應(yīng)用:

  • 光學(xué)全息和干涉

  • 拉曼共振光譜

  • 非線性光學(xué)和等離子體物理

  • 精密金屬加工

  • 紫外光刻

  • Ti-S激光和OPO泵浦

  • 染料激光器泵浦

  • 光譜學(xué)

  • 激光雷達(dá)

  • 激光激發(fā)熒光成像

  • 教學(xué)

性能參數(shù)

型號(hào)SLQ830SLQ830SLQ830SLQ830SLQ830
波長(zhǎng)1064nm532nm355nm266nm213nm
輸出能量mJ1064 nm700700700700700
532 nm——450350450315
355 nm————300——300
266 nm——————130——
213 nm————————50
重頻10Hz
光束質(zhì)量TEM00,M2<2
發(fā)散角≤0.25mrad
光斑直徑9±0.5mm
輸出線寬1cm-1,0.1cm-1(使用干涉儀)
脈寬6…9ns
光斑位置穩(wěn)定度±6μrad水平,±20μrad垂直
能量穩(wěn)定性≤ 2
抖動(dòng)±1ns
功耗≤ 1000W
制冷水冷
尺寸激光頭650 x 324 x 119電源700 x 366 x 693

SLQ929高功率脈沖Nd:YAG激光器

SLQ929系列激光器是緊湊型燈泵Nd:YAG,主振蕩器—單程放大器結(jié)構(gòu),具有以下參數(shù)組合:高輸出功率,超常的光束質(zhì)量,最小的激光頭和電源尺寸。SLQ929的主振蕩器與SLQ529相同,都是環(huán)形腔。環(huán)形腔結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu),和有高效漫反射器的泵浦室,使得輸出激光輻射具有均勻的光束輪廓,輸出能量和空間輻射參數(shù)具有超常的穩(wěn)定性。激光器所有關(guān)鍵部件都是熱穩(wěn)定的,與防震設(shè)計(jì)一起,保證了卓越的長(zhǎng)時(shí)間輸出輻射穩(wěn)定性。高效的溫度控制器使預(yù)熱時(shí)間小于10分鐘。為了減小例行維護(hù)時(shí)間,SLQ929使用的閃光燈壽命超過(guò)3千萬(wàn)次脈沖,易于更換。更換閃光燈不需要打開激光器上蓋,這種技術(shù)方案避免了光學(xué)部件的污染,增加了設(shè)備工作穩(wěn)定性。閉環(huán)水冷系統(tǒng)集成到緊湊的單項(xiàng)激光電源中,電源可通過(guò)PC或遠(yuǎn)程控制單元控制。

SLQ929高功率脈沖Nd:YAG激光器

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 振蕩器—放大器配置

  • 高脈沖能量最高1.5J

  • 極佳的光束質(zhì)量

  • 所有諧波最高213nm

  • 緊湊單項(xiàng)電源供電

  • 無(wú)需外部水冷

產(chǎn)品應(yīng)用

  • 藍(lán)寶石激光器和OPO泵浦

  • 染料激光器泵浦

  • 光譜學(xué)

  • 激光雷達(dá)

  • 激光誘導(dǎo)熒光(LIF)

  • LIBS

  • 教學(xué)

  • 粒子圖像測(cè)速

  • 測(cè)距

  • 激光消融

  • 塑料和陶瓷標(biāo)記

  • 激光清洗

性能參數(shù)

型號(hào)所有型號(hào)
能量穩(wěn)定性< 2.5±%
脈寬ns10…12
發(fā)散角mrad≤1.5
抖動(dòng)ns±1
功耗W≤1200
冷卻系統(tǒng)水冷
尺寸mm激光頭625 x 220 x 125
電源700 x 366 x 693
型號(hào)SLQ929ASLQ929ASLQ929ASLQ929ASLQ929A
波長(zhǎng)1064nm532nm355nm266nm213nm
重頻Hz510510510510510
輸出能量mJ1064 nm14001400140014001400
532 nm——800630800630
355nm高功率——-——420420——420420
355nm————390350——390350
266nm——————210190——
213nm高功率————————4540
213nm————————4035
光斑直徑mm≤11≤11≤11≤11≤11≤11
型號(hào)SLQ929BSLQ929BSLQ929BSLQ929BSLQ929B
波長(zhǎng)1064nm532nm355nm266nm213nm
重頻Hz510510510510510
輸出能量mJ1064 nm10001000100010001000
532——600450600450
355nm高功率————300300——300300
355nm————280250——280250
266nm——————200180-
213nm高功率————————4540
213nm————————4035
光斑直徑mm≤10≤10≤10≤10≤10≤10
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