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超快激光器在薄片玻璃中實現微加工
新特光電集團 2017-05-16 902

科學家正在研究如何使用超短脈沖(也稱為超快脈沖)激光器將微結構蝕刻到薄片玻璃中。在分析應用(片上實驗室)和電子及消費領域,將微結構刻蝕到薄片玻璃中存在著很多可能的應用。

用超快激光以特定的方式照射玻璃,能夠使玻璃對隨后的濕法化學蝕刻的敏感度提升一千倍。這意味著可以通過玻璃塊引導直徑幾微米的激光束,并且隨后在玻璃體內刻蝕出精細的管道。這種方法可以用來創建微型孔,將完整的微流體系統刻蝕到玻璃體中,或者實現具有極高表面質量的切口。

在這種現象可以成為工業過程之前,首先必須要回答一些問題。回答這些問題,也是德國聯邦教育和研究部(BMBF)資助的飛秒數字光子生產(Femto Digital Photonic Production)聯合研究項目的目標。

自2014年以來,德國亞琛工業大學和弗勞恩霍夫激光技術研究所(ILT)的代表們,已經與六家公司合作,研究用超快激光脈沖加工透明材料時所出現的新現象。他們已經開發了選擇性激光刻蝕(SLE)技術,并且已經測試了用技術加工幾種不同類型的玻璃材料,包括石英玻璃、藍寶石、Borofloat 33 玻璃和康寧 Willow 玻璃。在Borofloat 33 中,激光結構化區域和非結構化區域之間的刻蝕選擇度達到了1000:1,而在 Willow 玻璃中該數字約達到了100:1。

在該項目的下一階段,將在亞琛工業大學進行實驗,并在激光制造過程指令的非線性動力學研究部(NLD)運行復雜的模擬。光學系統技術(TOS)主席將專注于優化系統中的光學器件。

研究人員正在與三家激光源制造商(Amphos、Edgewave和Trumpf)和三家系統供應商(4JET、LightFab和Pulsar Photonics)合作。他們的目標是為大表面應用開發多光束系統,以及為微加工開發較小的系統。

LightFab公司是誕生于亞琛工業大學的一家初創公司。LightFab公司使用SLE技術生產由石英玻璃制造的3D精密零件。LightFab公司的機器,大大提高了用于原型制造和系列產品生產的玻璃部件3D打印的生產率,使得可以利用SLE工藝實現部件的批量生產。

該項目的合作伙伴們看到了該技術的眾多潛在應用。對于微流體而言,它不僅能在玻璃材料中生產通道,而且還能生產噴嘴和其他微型器件。該技術還能在鉆孔和切割過程中提供獨特優勢。刻蝕能夠實現無張力材料燒蝕,這一特性具有很多優勢,例如在半導體技術中制造中介層結構時,這項技術就非常有利。它能夠產生 10μm 以下的微型結構。

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